siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer

Vet-KinaSiliciumcarbid KeramikBelægning er en højtydende beskyttende belægning lavet af ekstremt hårdt og slidstærkt materiale.siliciumcarbid (SiC)materiale, som giver fremragende kemisk korrosionsbestandighed og højtemperaturstabilitet. Disse egenskaber er afgørende i halvlederproduktion, såKeramisk belægning af siliciumcarbidanvendes i vid udstrækning i nøglekomponenter i halvlederproduktionsudstyr.

Vet-Chinas specifikke rolleSiliciumcarbid KeramikBelægning i halvlederproduktion er som følger:

Forbedr udstyrets holdbarhed:Keramisk belægning af siliciumcarbid Keramisk belægning af siliciumcarbid giver fremragende overfladebeskyttelse til udstyr til fremstilling af halvledere med sin ekstremt høje hårdhed og slidstyrke. Især i miljøer med høj temperatur og stærkt korrosive procesmiljøer, såsom kemisk dampaflejring (CVD) og plasmaætsning, kan belægningen effektivt forhindre, at udstyrets overflade beskadiges af kemisk erosion eller fysisk slid, hvorved udstyrets levetid forlænges betydeligt og nedetid forårsaget af hyppig udskiftning og reparation reduceres.

Forbedre processens renhed:I halvlederfremstillingsprocessen kan små forureninger forårsage produktdefekter. Den kemiske inertitet af siliciumcarbid keramisk belægning gør det muligt at forblive stabilt under ekstreme forhold, hvilket forhindrer materialet i at frigive partikler eller urenheder, hvilket sikrer processens miljømæssige renhed. Dette er især vigtigt for fremstillingstrin, der kræver høj præcision og renlighed, såsom PECVD og ionimplantation.

Optimer termisk styring:I højtemperaturbehandling af halvledere, såsom hurtig termisk behandling (RTP) og oxidationsprocesser, muliggør den høje termiske ledningsevne af siliciumcarbid keramisk belægning en ensartet temperaturfordeling inde i udstyret. Dette hjælper med at reducere termisk stress og materialedeformation forårsaget af temperaturudsving, hvilket forbedrer nøjagtigheden og ensartetheden af ​​produktets fremstilling.

Understøttelse af komplekse procesmiljøer:I processer, der kræver kompleks atmosfærekontrol, såsom ICP-ætsning og PSS-ætsningsprocesser, sikrer stabiliteten og oxidationsmodstanden ved siliciumcarbid keramisk belægning, at udstyret opretholder stabil ydeevne under langvarig drift, hvilket reducerer risikoen for materialenedbrydning eller udstyrsskader på grund af miljøændringer.