Pieza y conjunto de grafito semicircular recubierto de SiC para epitaxia de SiC.

Breve descripción:

VET Energy es un fabricante y proveedor profesional de componentes clave para hornos epitaxiales de carburo de silicio. Nuestro conjunto semicircular utiliza grafito de alta pureza combinado con tecnología avanzada de recubrimiento CVD. Está diseñado para entornos epitaxiales de alta temperatura y altamente corrosivos. El grafito de alta pureza proporciona al componente una excelente resistencia a altas temperaturas (>1600 °C) y estabilidad térmica, lo que garantiza la uniformidad del campo térmico. El recubrimiento CVD forma una densa capa protectora en la superficie mediante tecnología CVD, mejorando significativamente las propiedades antioxidantes y anticorrosivas, y prolongando la vida útil en más del triple.

Material:Grafito de alta pureza

Tratamiento:Recubrimiento de CVD-SiC o CVD-TaC

Personalización:Disponible

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Pieza de grafito semicircular recubierta de SiCEs un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, especialmente en los equipos epitaxiales de SiC. Su diseño estructural y las propiedades de sus materiales determinan directamente la calidad y la eficiencia de producción de las obleas epitaxiales.

Construcción de la cámara de reacción:
La parte en forma de media luna se compone de dos partes, la superior y la inferior, que se unen para formar una cámara de crecimiento cerrada, que aloja el sustrato de carburo de silicio (generalmente 4H-SiC o 6H-SiC) y logra el crecimiento de capas epitaxiales controlando con precisión el campo de flujo de gas (como una mezcla de SiH₄, C₃H₈ y H₂).
Regulación de la temperatura en campo:
La base de grafito de alta pureza, combinada con la bobina de calentamiento por inducción, permite mantener la uniformidad de la temperatura de la cámara (dentro de ±5 °C) a una temperatura elevada de 1500-1700 °C para garantizar la consistencia del espesor de la capa epitaxial.
Guía del flujo de aire:
Mediante el diseño de la posición de la entrada y la salida de aire (como la entrada de aire lateral y la salida de aire superior del cuerpo horizontal del horno), el flujo laminar del gas de reacción se guía a través de la superficie del sustrato para reducir los defectos de crecimiento causados por la turbulencia.

Material base: grafito de alta pureza
Requisitos de pureza:Contenido de carbono ≥99,99%, contenido de cenizas ≤5 ppm, para garantizar que no se precipiten impurezas que contaminen la capa epitaxial a altas temperaturas.
Ventajas de rendimiento:
Alta conductividad térmica:La conductividad térmica a temperatura ambiente alcanza los 150 W/(m·K), un valor cercano al del cobre, lo que permite una rápida transferencia de calor.
Coeficiente de expansión bajo:5×10^-6/℃ (25-1000℃), que coincide con el sustrato de carburo de silicio (4,2×10^-6/℃), reduciendo el agrietamiento del recubrimiento causado por el estrés térmico.
Precisión del procesamiento:Mediante mecanizado CNC se consigue una tolerancia dimensional de ±0,05 mm para garantizar el sellado de la cámara.

Aplicaciones diferenciadas de SiC CVD y TaC CVD

Revestimiento	Proceso	Comparación	Aplicación típica
SiC CVD	Temperatura: 1000-1200℃Presión: 10-100 Torr	Dureza HV2500, espesor 50-100 µm, excelente resistencia a la oxidación (estable por debajo de 1600 ℃).	Hornos epitaxiales universales, aptos para atmósferas convencionales como hidrógeno y silano.
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Presión: 1-10 Torr	Dureza HV3000, espesor de 20-50 µm, extremadamente resistente a la corrosión (puede soportar gases corrosivos como HCl, NH₃, etc.).	Entornos altamente corrosivos (como los equipos de epitaxia y grabado de GaN) o procesos especiales que requieren temperaturas ultra altas de 2600 °C.

VET Energy es un fabricante profesional especializado en I+D y producción de materiales avanzados de alta gama, como grafito, carburo de silicio y cuarzo, así como en el tratamiento de materiales mediante recubrimientos de SiC, TaC, carbono vítreo y carbono pirolítico, entre otros. Sus productos se utilizan ampliamente en los sectores fotovoltaico, de semiconductores, de energías renovables, metalúrgico, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Las ventajas de VET Energy incluyen:
• Fábrica propia y laboratorio profesional;
• Niveles de pureza y calidad líderes en la industria;
• Precio competitivo y plazo de entrega rápido;
• Múltiples alianzas con la industria a nivel mundial;

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