پیشرفتهپد کنسول SiCبرای پردازش ویفر که توسط vet-china ساخته شده است، یک راه حل عالی برای تولید نیمه هادی ارائه میدهد. این پارویی کانتیلور از جنس SiC (کاربید سیلیکون) ساخته شده است و سختی و مقاومت حرارتی بالای آن، آن را قادر میسازد تا عملکرد عالی را در محیطهای با دمای بالا و خورنده حفظ کند. طراحی پارویی کانتیلور به ویفر اجازه میدهد تا در طول پردازش به طور قابل اعتمادی پشتیبانی شود و خطر تکه تکه شدن و آسیب را کاهش دهد.
پد کنسول SiCیک قطعه تخصصی است که در تجهیزات تولید نیمههادی مانند کوره اکسیداسیون، کوره انتشار و کوره آنیل مورد استفاده قرار میگیرد و کاربرد اصلی آن بارگیری و تخلیه ویفر، پشتیبانی و انتقال ویفرها در فرآیندهای دمای بالا است.
ساختارهای رایجازسی سیcضد اهرمpادل: یک سازهی طرهدار، که از یک سر ثابت و از سر دیگر آزاد است، معمولاً طرحی مسطح و پارو مانند دارد.
شرکت VET Energy برای تضمین کیفیت، از مواد کاربید سیلیکون تبلور مجدد یافته با خلوص بالا استفاده میکند.
| خواص فیزیکی کاربید سیلیکون تبلور مجدد یافته | |
| ملک | مقدار معمول |
| دمای کار (°C) | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد (با اکسیژن)، ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد (محیط احیاکننده) |
| محتوای SiC | > ۹۹.۹۶٪ |
| محتوای رایگان Si | <0.1٪ |
| چگالی ظاهری | ۲.۶۰-۲.۷۰ گرم بر سانتیمتر مکعب3 |
| تخلخل ظاهری | کمتر از ۱۶٪ |
| استحکام فشاری | > 600مگاپاسکال |
| استحکام خمشی سرد | ۸۰-۹۰ مگاپاسکال (۲۰ درجه سانتیگراد) |
| استحکام خمشی گرم | ۹۰-۱۰۰ مگاپاسکال (۱۴۰۰ درجه سانتیگراد) |
| انبساط حرارتی در دمای ۱۵۰۰ درجه سانتیگراد | ۴.۷۰ ۱۰-6/°C |
| رسانایی حرارتی در دمای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد | ۲۳وات/متر • کلوین |
| مدول الاستیک | ۲۴۰ گیگا پاسکال |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوقالعاده خوب |
مزایای پارویی پیشرفته SiC Cantilever شرکت VET Energy برای پردازش ویفر عبارتند از:
پایداری دمایی بالا: قابل استفاده در محیطهای بالاتر از ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد؛
ضریب انبساط حرارتی پایین: پایداری ابعادی را حفظ میکند و خطر تاب برداشتن ویفر را کاهش میدهد.
-خلوص بالا: خطر آلودگی فلزی کمتر؛
- بیاثری شیمیایی: مقاوم در برابر خوردگی، مناسب برای محیطهای گازی مختلف؛
- استحکام و سختی بالا: مقاوم در برابر سایش، عمر طولانی؛
- رسانایی حرارتی خوب: به گرمایش یکنواخت ویفر کمک میکند.
