ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບ

ສັດຕະວະແພດ-ຈີນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບການເຄືອບແມ່ນການເຄືອບປ້ອງກັນປະສິດທິພາບສູງທີ່ເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ແຂງແກ່ນ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຫຼາຍຊິລິກອນຄາໄບ (SiC)ວັດສະດຸ, ເຊິ່ງໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງ. ລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ສະນັ້ນການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ.

ບົດບາດສະເພາະຂອງ Vet-Chinaເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບການເຄືອບໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳມີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ປັບປຸງຄວາມທົນທານຂອງອຸປະກອນ:ການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ ການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບໃຫ້ການປົກປ້ອງພື້ນຜິວທີ່ດີເລີດສຳລັບອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ສູງຫຼາຍ. ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນສູງ, ເຊັ່ນ: ການສະສົມໄອເຄມີ (CVD) ແລະ ການແກະສະຫຼັກພລາສມາ, ການເຄືອບສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນເສຍຫາຍຈາກການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ ຫຼື ການສວມໃສ່ທາງກາຍະພາບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກທີ່ເກີດຈາກການປ່ຽນແທນ ແລະ ການສ້ອມແປງເລື້ອຍໆ.

ປັບປຸງຄວາມບໍລິສຸດຂອງຂະບວນການ:ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ການປົນເປື້ອນເລັກນ້ອຍອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນ. ຄວາມບໍ່ສະໝ່ຳສະເໝີທາງເຄມີຂອງການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຊ່ວຍໃຫ້ມັນຄົງທີ່ພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸປ່ອຍອະນຸພາກ ຫຼື ສິ່ງເຈືອປົນອອກມາ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການ. ສິ່ງນີ້ມີຄວາມສຳຄັນໂດຍສະເພາະສຳລັບຂັ້ນຕອນການຜະລິດທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ຄວາມສະອາດສູງ, ເຊັ່ນ: PECVD ແລະ ການຝັງໄອອອນ.

ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຈັດການຄວາມຮ້ອນ:ໃນການປະມວນຜົນແບບເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເຊັ່ນ: ການປະມວນຜົນດ້ວຍຄວາມຮ້ອນໄວ (RTP) ແລະ ຂະບວນການຜຸພັງ, ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງຂອງການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ຊ່ວຍໃຫ້ມີການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມຢ່າງເປັນເອກະພາບພາຍໃນອຸປະກອນ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການຜິດຮູບຂອງວັດສະດຸທີ່ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຜະລິດຜະລິດຕະພັນ.

ຮອງຮັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການທີ່ສັບສົນ:ໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການການຄວບຄຸມບັນຍາກາດທີ່ສັບສົນ, ເຊັ່ນ: ຂະບວນການແກະສະຫຼັກ ICP ແລະ ຂະບວນການແກະສະຫຼັກ PSS, ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງການເຄືອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນຮັກສາປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງໃນການດໍາເນີນງານໄລຍະຍາວ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການເສື່ອມສະພາບຂອງວັດສະດຸ ຫຼື ຄວາມເສຍຫາຍຂອງອຸປະກອນຍ້ອນການປ່ຽນແປງຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ.