SiC облога Графит MOCVD Носачи на плочки Сусцептори

Краток опис:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor за епитаксијален раст е високо-перформансен производ дизајниран да обезбеди конзистентни и сигурни перформанси во подолг временски период. Има супер добра отпорност на топлина и термичка униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на плочки.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

SiC облога графит MOCVD носачи/сусцептор на плочка

Сите наши сусцептори се направени од високојакосен изостатски графит. Искористете ја високата чистота на нашите графити - развиени специјално за предизвикувачки процеси како епитаксија, одгледување кристали, јонска имплантација и плазматско гравирање, како и за производство на LED чипови.

Карактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока тврдост, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Тврдост	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на зрно	2~10μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Јангов модул	430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е вистински производител на производи од графит и силициум карбид по нарачка со различни премази како што се SiC премази, TaC премази, стаклен јаглерод, пиролитички јаглеродни премази итн., и може да испорача разни делови по нарачка за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да ви обезбеди попрофесионални материјални решенија.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу премазот и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Топло ве поздравуваме да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!