Вафли боловсруулах зориулалттай дэвшилтэт SiC Cantilever сэлүүр

Вафли боловсруулах зориулалттай дэвшилтэт SiC консолын сэлүүр Онцлох зураг

Товч тайлбар:

vet-china компанийн гаргасан вафли боловсруулах дэвшилтэт SiC консол сэлүүр нь вафли боловсруулах үр ашиг, нарийвчлалыг сайжруулахын тулд өндөр технологийн SiC материалыг ашигладаг. Vet-china компанийн консол сэлүүр нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй тул хатуу ширүүн үйлдвэрлэлийн орчинд вафли боловсруулах тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг тул үйлдвэрлэлийн гарцыг сайжруулах хамгийн тохиромжтой сонголт болдог.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

ДэвшилтэтSiC Консолын сэлүүрvet-china компанийн бүтээсэн Wafer Processing нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн маш сайн шийдлийг санал болгодог. Энэхүү консолын сэлүүр нь SiC (цахиурын карбид) материалаар хийгдсэн бөгөөд өндөр хатуулаг, халуунд тэсвэртэй байдал нь өндөр температур болон зэврэлттэй орчинд маш сайн гүйцэтгэлийг хадгалах боломжийг олгодог. Консолын сэлүүрийн загвар нь боловсруулалтын явцад ваферийг найдвартай бэхлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хуваагдал, гэмтлийн эрсдлийг бууруулдаг.

SiC Консолын сэлүүрнь исэлдэлтийн зуух, диффузийн зуух, шарах зуух зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд гол хэрэглээ нь вафли ачих, буулгах, өндөр температурын процессын үед вафлиг дэмжих, тээвэрлэхэд зориулагдсан.

Нийтлэг бүтэц-ынSiCcмөнхийн эсрэгpдүүжин: нэг үзүүртээ бэхлэгдсэн, нөгөө үзүүртээ чөлөөтэй консолын бүтэц нь ихэвчлэн хавтгай, сэлүүртэй төстэй загвартай байдаг.

VET Energy нь чанарыг баталгаажуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй дахин талстжуулсан цахиурын карбидын материалыг ашигладаг.

Дахин талсжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанарууд
Үл хөдлөх хөрөнгө	Ердийн утга
Ажлын температур (°C)	1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (бууруулагч орчин)
SiC агууламж	> 99.96%
Үнэгүй Si контент	< 0.1%
Бөөн нягтрал	2.60-2.70 г/см3³
Илэрхий сүвэрхэг байдал	< 16%
Шахалтын хүч	> 600МПа
Хүйтэн нугалах хүч	80-90 МПа (20°C)
Халуун нугалах хүч	90-100 МПа (1400°C)
Дулааны тэлэлт @1500°C	4.70 10^-6/°C
Дулаан дамжуулалт @1200°C	23Вт/м•К
Уян хатан модуль	240 ГПа
Дулааны цохилтын эсэргүүцэл	Маш сайн