Gesinterd siliciumcarbide Sic kristal/waferbootje

De gesinterdeSiliciumcarbide (SiC)Kristal/Waferbootis ontworpen voor de strenge eisen van de halfgeleider- en micro-elektronica-industrie. Het biedt een veilig platform voor de verwerking van siliciumkristallen en wafers tijdens verwerking bij hoge temperaturen, waardoor hun integriteit en zuiverheid te allen tijde behouden blijven.

Belangrijkste kenmerken

1. Uitstekende thermische stabiliteit: Bestand tegen temperaturen tot 1600°C, ideaal voor processen waarbij een nauwkeurige temperatuurregeling vereist is.
2. Superieure chemische bestendigheid: Bestand tegen de meeste corrosieve chemicaliën en gassen, voor duurzaamheid in zware verwerkingsomgevingen.
3. Robuuste mechanische sterkte: Behoudt de structurele integriteit onder hoge spanning, waardoor de kans op vervorming of breuk afneemt.
4. Minimale thermische uitzetting: Ontworpen om het risico op thermische schokken en scheuren te minimaliseren en betrouwbare prestaties te bieden gedurende langdurig gebruik.
5. Precisiefabricage:Met hoge precisie vervaardigd om te voldoen aan specifieke procesvereisten en geschikt voor verschillende kristal- en wafergroottes.

Toepassingen

• Bewerking van halfgeleiderwafers

• LED-productie

• Productie van fotovoltaïsche cellen

• Chemische dampdepositie (CVD)-systemen

• Onderzoek en ontwikkeling in materiaalkunde