Suceptori pentru suporturi de napolitane MOCVD cu acoperire cu grafit și SiC

Imagine prezentată pentru suporturi de napolitane MOCVD cu acoperire cu grafit și SiC

Scurtă descriere:

Susceptorul MOCVD acoperit cu SiC VET Energy pentru creștere epitaxială este un produs de înaltă performanță, conceput pentru a oferi performanțe constante și fiabile pe o perioadă extinsă de timp. Are o rezistență la căldură și o uniformitate termică foarte bune, puritate ridicată și rezistență la eroziune, ceea ce îl face soluția perfectă pentru aplicațiile de procesare a napolitanelor.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Suporturi/susceptor pentru plachete MOCVD cu acoperire cu grafit SiC

Toți susceptorii noștri sunt fabricați din grafit izostatic de înaltă rezistență. Beneficiați de puritatea ridicată a grafitului nostru – dezvoltat special pentru procese dificile precum epitaxia, creșterea cristalelor, implantarea ionică și gravarea cu plasmă, precum și pentru producerea de cipuri LED.

Caracteristici ale produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate de până la 1700 ℃.
2. Puritate ridicată și uniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate ridicată, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

boli cardiovasculare (BCV) SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale SiC CVDacoperire
性质 / Proprietăți	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura cristalină	Faza β a FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Densitate	3,21 g/cm³
硬度 Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 Dimensiunea granulelor	2~10 μm
纯度 Puritate chimică	99,99995%
热容 Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistență la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 Modulul lui Young	Îndoire 4pt 430 Gpa, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Dilatare termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy este producătorul real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu diferite acoperiri, cum ar fi acoperire SiC, acoperire TaC, acoperire carbon vitros, acoperire carbon pirolitic etc., putând furniza diverse piese personalizate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale tot mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face ca legătura dintre acoperire și substrat să fie mai strânsă și mai puțin predispusă la desprindere.

Vă invităm călduros să vizitați fabrica noastră, haideți să discutăm mai departe!