Parahu Wafer KuarsaMangrupikeun alat pamawa konci dina manufaktur semikonduktor, produksi sél fotovoltaik sareng panalungtikan sareng pamekaran bahan canggih, dirancang pikeun transfer wafer anu stabil sareng posisi dina prosés suhu luhur. Produk ieu didamel tina silika lebur (SiO2) anu murni pisan, kalayan résistansi suhu anu saé, stabilitas kimia sareng karakteristik kontaminasi logam anu ultra-rendah, cocog pikeun tungku difusi, tungku oksidasi, PECVD / LPCVD sareng peralatan sanésna, seueur dianggo dina palapis wafer, implantasi ion, anil suhu luhur sareng prosés inti sanésna.
Kaunggulan Inti tina parahu kuarsa VET Energy:
- Bahan anu kamurnianna luhur pisan
Kamurnian ≥99,99%: Kandungan pangotor (Na, K, Fe, jsb.) <5ppm, nyingkahan kontaminasi wafer sareng ngajamin hasil chip.
Présipitasi sareng adsorpsi anu handap: permukaanana dipoles pisan (Ra≤0.4μm) pikeun ngirangan adhesi partikel sareng sésa gas. - Stabilitas suhu luhur
Wates suhu: Suhu kerja jangka panjang 1100 ℃, puncak jangka pondok 1300 ℃, teu aya deformasi, teu aya présipitasi kristal.
Koéfisién ékspansi termal anu handap (5.5x10-7/℃), résistansi kejut termal anu saé pisan, tiasa adaptasi kana prosés naék sareng turunna suhu anu gancang (contona RTP rapid annealing). - Desain struktural anu tepat
Presisi slot ±0.1mm: cocogkeun wafer 2” nepi ka 12”, kasalahan keseragaman jarak <0.05mm, mastikeun wafer teu boga offset.
Kapasitas beban anu luhur: Beban maksimum 50 wafer (dina istilah wafer 12”) dina hiji parahu, ngadukung transfer wafer ipis anu stabil (≥100um). - Inertitas kimiawi
Résistansi korosi: Tahan ka korosi asam (kajaba HF), alkali sareng pangleyur organik, cocog sareng prosés beberesih CMP.
Kedap gas anu saé pisan: Laju bocor <5x10-10 Pa.m3/s, cocog pikeun lingkungan vakum sareng gas pelindung. - Umur panjang sareng pangropéa
Harepan hirup ≥ 5000 siklus (kaayaan kerja normal), permukaan tiasa dibersihkeun sareng dianggo sababaraha kali, ngirangan biaya sakabéhna.
Desain modular: ngadukung panggantian parsial (contona huntu parahu tunggal), ngirangan downtime.
Kami nawiskeun permukaan transparan sareng buram numutkeun kabutuhan konsumén:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd mangrupikeun perusahaan téknologi tinggi anu fokus kana produksi sareng penjualan bahan canggih kelas atas, bahan sareng téknologi kalebet grafit, silikon karbida, keramik, perlakuan permukaan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb., produk ieu seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, sareng parantos ngembangkeun sababaraha téknologi anu dipatenkeun pikeun mastikeun kinerja sareng kualitas produk, ogé tiasa nyayogikeun solusi bahan profésional ka para nasabah.
