SiC kaplamalı grafit MOCVD gofret taşıyıcılar, SiC epitaksi için grafit taşıyıcılar

Kısa Açıklama:

Yarı iletken uygulamaları için grafit alt tabakaya uygulanan SiC kaplama, üstün saflıkta ve oksitleyici ortama karşı dirençli bir parça üretir. CVD SiC veya CVI SiC, basit veya karmaşık tasarımlı grafit parçalara uygulanır. Kaplama, değişen kalınlıklarda ve çok büyük parçalara uygulanabilir.

Menşe Yeri:Zhejiang, Çin (Anakara)

Model Numarası:Model Numarası:

Kimyasal Bileşim:SiC kaplı grafit

Eğilme dayanımı:470 MPa

Isı iletkenliği:300 W/mK

Kalite:Mükemmel

İşlev:CVD-SiC

Başvuru:Yarıiletken / Fotovoltaik

Yoğunluk:3,21 g/cc

Termal genleşme:4 10-6/K

Kül: <5ppm

Örnek:Mevcut

HS Kodu:6903100000

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

SiC kaplamalı grafit MOCVD gofret taşıyıcılar, Grafit Susceptörler içinSiC Epitaksi,
Karbon, alıcıları besler., Grafit epitaksi taşıyıcıları, Grafit destek alt tabakaları, MOCVD Susceptor, SiC Epitaksi, Wafer Susceptors,

SiC kaplı grafit ısıtıcılarımızın başlıca avantajları arasında son derece yüksek saflık, homojen kaplama ve mükemmel kullanım ömrü yer almaktadır. Ayrıca yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine de sahiptirler.

Yarı iletken uygulamaları için grafit alt tabakanın SiC ile kaplanması, üstün saflıkta ve oksitleyici ortama karşı dirençli bir parça üretir.
CVD SiC veya CVI SiC, basit veya karmaşık tasarımlı parçaların grafitine uygulanır. Kaplama, değişen kalınlıklarda ve çok büyük parçalara uygulanabilir.

SiC kaplama/kaplamalı MOCVD Susceptor

Özellikler:
• Mükemmel Isı Şoku Direnci
• Mükemmel Fiziksel Şok Direnci
• Mükemmel Kimyasal Direnç
• Süper Yüksek Saflık
• Karmaşık Şekillerde Mevcuttur
• Oksitleyici atmosfer altında kullanılabilir

Başvuru:

Temel Grafit Malzemenin Tipik Özellikleri:

Görünür Yoğunluk:	1,85 g/cm³
Elektriksel Direnç:	11 μΩm
Eğilme Mukavemeti:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore Sertliği:	58
Kül:	<5ppm
Isı İletkenliği:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Karbon, alıcıları besler.ve tüm güncel epitaksi reaktörleri için grafit bileşenleri. Portföyümüzde, uygulamalı ve LPE üniteleri için silindir şeklinde suseptörler, LPE, CSD ve Gemini üniteleri için yassı suseptörler ve uygulamalı ve ASM üniteleri için tekli wafer suseptörler bulunmaktadır. Önde gelen OEM'lerle güçlü ortaklıkları, malzeme uzmanlığını ve üretim bilgi birikimini birleştirerek, SGL uygulamanız için en uygun tasarımı sunar.