SiC qoplamali grafit MOCVD gofret tashuvchilari, SiC epitaksiyasi uchun grafit susseptorlari

Qisqacha tavsif:

Yarimo'tkazgichlar uchun grafit substratining SiC qoplamasi yuqori darajadagi tozalik va oksidlovchi atmosferaga chidamlilik bilan ajralib turadigan qismni ishlab chiqaradi. CVD SiC yoki CVI SiC oddiy yoki murakkab dizayndagi qismlarning grafitiga qo'llaniladi. Qoplama turli qalinliklarda va juda katta qismlarga qo'llanilishi mumkin.

Kelib chiqish joyi:Chjejiang, Xitoy (materik)

Model raqami:Model raqami:

Kimyoviy tarkibi:SiC bilan qoplangan grafit

Bükülme kuchi:470Mpa

Issiqlik o'tkazuvchanligi:300 Vt/mK

Sifat:Mukammal

Funktsiya:CVD-SiC

Ilova:Yarimo'tkazgich / Fotovoltaik

Zichlik:3.21 g/sm³

Termal kengayish:4 10-6/K

Kul: <5ppm

Namuna:Mavjud

HS kodi:6903100000

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot tafsiloti

Mahsulot teglari

SiC qoplamali grafit MOCVD gofret tashuvchilari, grafit susseptorlari uchunSiC Epitaksiyasi,
Uglerod susceptorlarni yetkazib beradi, Grafit epitaksiyasi susseptorlari, Grafit tayanch substratlari, MOCVD Susseptori, SiC Epitaksiyasi, Vafer Susseptorlari,

SiC bilan qoplangan grafit susseptorlarimizning o'ziga xos afzalliklari orasida juda yuqori tozalik, bir xil qoplama va a'lo xizmat muddati mavjud. Ular, shuningdek, yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlariga ega.

Yarimo'tkazgichlar uchun grafit substratining SiC qoplamasi yuqori darajadagi tozalik va oksidlovchi atmosferaga chidamlilik bilan ajralib turadigan qismni ishlab chiqaradi.
CVD SiC yoki CVI SiC oddiy yoki murakkab dizayndagi grafit qismlariga qo'llaniladi. Qoplama turli qalinliklarda va juda katta qismlarga qo'llanilishi mumkin.

SiC qoplamasi/qoplangan MOCVD Susceptor

Xususiyatlari:
· Ajoyib issiqlik zarbasiga chidamlilik
· Ajoyib jismoniy zarba qarshiligi
· Zo'r kimyoviy qarshilik
· Juda yuqori poklik
· Murakkab shaklda mavjudligi
· Oksidlovchi atmosferada foydalanish mumkin

Ilova:

Asosiy grafit materialining odatiy xususiyatlari:

Ko'rinadigan zichlik:	1,85 g/sm3
Elektr qarshiligi:	11 mkΩm
Bükme kuchi:	49 MPa (500 kgf/sm2)
Sohil qattiqligi:	58
Kul:	<5ppm
Issiqlik o'tkazuvchanligi:	116 Vt/mK (100 kkal/mhr-℃)

Uglerod susceptorlarni yetkazib beradiva barcha mavjud epitaksi reaktorlari uchun grafit komponentlari. Bizning portfelimizga amaliy va LPE qurilmalari uchun barrelli susseptorlar, LPE, CSD va Gemini qurilmalari uchun pancake susseptorlari va amaliy va ASM qurilmalari uchun bitta plastinkali susseptorlar kiradi. Yetakchi OEMlar bilan mustahkam hamkorlikni, materiallar bo'yicha tajriba va ishlab chiqarish nou-xausini birlashtirib, SGL sizning qo'llanishingiz uchun optimal dizaynni taklif etadi.