SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어, 흑연 서셉터용SiC 에피택시,
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당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터는 매우 높은 순도, 균일한 코팅 및 탁월한 수명을 비롯한 여러 가지 특별한 장점을 제공합니다. 또한 높은 내화학성 및 열 안정성을 자랑합니다.
반도체 응용 분야용 흑연 기판에 SiC 코팅을 하면 순도가 우수하고 산화 환경에 대한 저항성이 뛰어난 부품을 생산할 수 있습니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC 코팅은 단순하거나 복잡한 디자인의 부품에 사용되는 흑연 표면에 적용됩니다. 코팅 두께는 다양하게 적용할 수 있으며 매우 큰 부품에도 적용 가능합니다.
특징:
• 뛰어난 열충격 저항성
• 뛰어난 물리적 충격 저항성
• 뛰어난 내화학성
• 초고순도
• 복잡한 형태로 제공 가능
산화성 분위기에서 사용 가능
애플리케이션:
흑연 기본 소재의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85 g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
탄소는 수용기를 공급합니다.SGL은 모든 최신 에피택시 반응기에 사용되는 흑연 부품을 제공합니다. 당사의 포트폴리오에는 응용 및 LPE 장치용 배럴 서셉터, LPE, CSD 및 Gemini 장치용 팬케이크 서셉터, 그리고 응용 및 ASM 장치용 단일 웨이퍼 서셉터가 포함됩니다. 선도적인 OEM과의 강력한 파트너십, 소재 전문 지식 및 제조 노하우를 결합하여 SGL은 고객의 응용 분야에 최적의 설계를 제공합니다.
