แผ่นเวเฟอร์ MOCVD เคลือบกราไฟท์ SiC ตัวรับกราไฟท์สำหรับซิลิกอนคาร์ไบด์เอพิแทกซี,
คาร์บอนเป็นตัวจ่ายสารรับ, ซัฟเซปเตอร์เอพิแทกซีของกราไฟต์, วัสดุรองรับกราไฟท์, ตัวรับ MOCVD, ซิลิกอนคาร์ไบด์เอพิแทกซี, ซัปเซ็ปเตอร์เวเฟอร์,

ข้อดีพิเศษของตัวรับกราไฟต์เคลือบ SiC ของเรา ได้แก่ ความบริสุทธิ์ที่สูงมาก การเคลือบที่เป็นเนื้อเดียวกัน และอายุการใช้งานที่ยอดเยี่ยม นอกจากนี้ ตัวรับกราไฟต์ยังทนทานต่อสารเคมีและทนความร้อนได้ดีอีกด้วย

การเคลือบ SiC ของพื้นผิวกราไฟต์สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ทำให้ได้ชิ้นส่วนที่มีความบริสุทธิ์เหนือกว่าและทนทานต่อบรรยากาศออกซิไดซ์
CVD SiC หรือ CVI SiC ใช้กับกราไฟต์ของชิ้นส่วนที่มีการออกแบบที่เรียบง่ายหรือซับซ้อน สามารถเคลือบได้หลายความหนาและใช้กับชิ้นส่วนขนาดใหญ่

คุณสมบัติ:
· ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม
· ทนทานต่อแรงกระแทกทางกายภาพได้ดีเยี่ยม
· ทนทานต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม
· ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
· มีให้เลือกหลายรูปทรง
· สามารถใช้งานได้ภายใต้บรรยากาศออกซิไดซ์

แอปพลิเคชัน:

คุณสมบัติทั่วไปของวัสดุฐานกราไฟท์:

คาร์บอนเป็นตัวจ่ายสารรับและส่วนประกอบกราไฟต์สำหรับเครื่องปฏิกรณ์เอพิแทกซีทั้งหมดในปัจจุบัน ผลงานของเรามีทั้งตัวรับแบบถังสำหรับหน่วยที่นำไปใช้งานจริงและ LPE ตัวรับแบบแพนเค้กสำหรับหน่วย LPE, CSD และ Gemini และตัวรับแบบเวเฟอร์เดียวสำหรับหน่วยที่นำไปใช้งานจริงและ ASM SGL นำเสนอการออกแบบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการใช้งานของคุณโดยผสมผสานความร่วมมืออันแข็งแกร่งกับ OEM ชั้นนำ ความเชี่ยวชาญด้านวัสดุ และความรู้ด้านการผลิต