
Kvarts gofretli qayiqyarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, fotovoltaik elementlar ishlab chiqarish va ilg'or materiallarni tadqiq qilish va ishlab chiqishda asosiy tashuvchi vosita bo'lib, yuqori haroratli jarayonlarda barqaror plastinalarni uzatish va joylashtirish uchun mo'ljallangan. Ushbu mahsulot ultra yuqori tozalikdagi eritilgan kremniy (SiO2) dan tayyorlangan bo'lib, ajoyib haroratga chidamlilik, kimyoviy barqarorlik va ultra past metall ifloslanish xususiyatlariga ega, diffuziya pechi, oksidlanish pechi, PECVD/LPCVD va boshqa uskunalarga mos keladi, plastinalarni qoplash, ion implantatsiyasi, yuqori haroratli tavlash va boshqa yadro jarayonlarida keng qo'llaniladi.
VET Energy kvarts qayig'ining asosiy afzalliklari:
- Ultra yuqori tozalikdagi material
Soflik ≥99.99%: Nopoklik miqdori (Na, K, Fe va boshqalar) <5ppm, plastinka ifloslanishining oldini oladi va chiplarning chiqishini kafolatlaydi.
Kam yog'ingarchilik va adsorbsiya: zarrachalarning yopishishini va gaz qoldiqlarini kamaytirish uchun sirt juda sayqallangan (Ra≤0.4μm). - Yuqori harorat barqarorligi
Harorat chegarasi: Uzoq muddatli ish harorati 1100 ℃, qisqa muddatli cho'qqisi 1300 ℃, deformatsiya yo'q, kristall yog'inlari yo'q.
Past issiqlik kengayish koeffitsienti (5.5x10-7/℃), a'lo darajadagi issiqlik zarbalariga chidamliligi, haroratning tez ko'tarilishi va pasayishiga moslashuvchanligi (masalan, RTP tez tavlanishi). - Aniq strukturaviy dizayn
Slot aniqligi ± 0,1 mm: 2 dyuymdan 12 dyuymgacha bo'lgan plastinkalarni moslashtirish, oraliq bir xillik xatosi <0,05 mm, plastinkalarning siljishi yo'qligiga ishonch hosil qilish.
Yuqori yuk ko'tarish qobiliyati: Bitta qayiqda maksimal 50 ta plastinka (12 dyuymli plastinkalarga nisbatan) yuk ko'tariladi, bu yupqa plastinkalarning (≥100 um) barqaror o'tkazilishini ta'minlaydi. - Kimyoviy inertlik
Korroziyaga chidamlilik: Kislota (HFdan tashqari), ishqor va organik erituvchi korroziyasiga chidamli, CMP tozalash jarayoniga mos keladi.
Ajoyib gaz zichligi: Oqish tezligi <5x10-10 Pa.m3/s, vakuum va himoya gaz muhitlari uchun mos. - Uzoq umr va texnik xizmat ko'rsatish
Hayot davomiyligi ≥ 5000 tsikl (normal ish sharoitlari), sirtni qayta-qayta tozalash va ishlatish mumkin, bu umumiy xarajatlarni kamaytiradi.
Modulli dizayn: qisman almashtirishni qo'llab-quvvatlaydi (masalan, bitta qayiq tishi), ishlamay qolish vaqtini kamaytiradi.
Biz mijozning talablariga muvofiq shaffof va muzlatilgan sirtlarni taklif etamiz:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd yuqori texnologiyali korxona bo'lib, yuqori darajadagi ilg'or materiallar, grafit, kremniy karbidi, keramika, SiC qoplamasi, TaC qoplamasi, shishasimon uglerod qoplamasi, pirolitik uglerod qoplamasi va boshqalar kabi sirt ishlov berish kabi materiallar va texnologiyalarni ishlab chiqarish va sotishga ixtisoslashgan bo'lib, ushbu mahsulotlar fotovoltaik, yarimo'tkazgichlar, yangi energiya, metallurgiya va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi.
Bizning texnik jamoamiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi va mahsulotning ishlashi va sifatini ta'minlash uchun bir nechta patentlangan texnologiyalarni ishlab chiqdi, shuningdek, mijozlarga professional material yechimlarini taqdim etishi mumkin.
-
G'ovakli kremniy karbid SiC keramikasi
-
Yarimo'tkazgich uskunalari sarf materiallari alumina ser...
-
Yuqori harorat va aşınmaya bardoshli alumina seramika...
-
Kengaytirilgan gözenekli keramik vakuumli patron
-
Alumina keramik yarimo'tkazgichli elektrod ushlagichi
-
Keramik gofret isitgichi AlN alumina isitish elementi








