SiC-bedekte grafietsusseptor is 'n sleutelkomponent wat in verskeie halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word. Ons gebruik ons gepatenteerde tegnologie om die suseptor met uiters hoë suiwerheid, goeie bedekkingseenvormigheid en 'n uitstekende lewensduur te vervaardig, sowel as hoë chemiese weerstand en termiese stabiliteitseienskappe.
Kenmerke van ons produkte:
1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700 ℃.
2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid
3. Uitstekende korrosiebestandheid: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam
| KVS SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCbedekking | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Tipiese Waarde |
| 晶体结构 / Kristalstruktuur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Digtheid | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度（500g vrag） |
| 晶粒大小 / Graangrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemiese Suiwerheid | 99.99995% |
| 热容 / Hittekapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimasie Temperatuur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punt |
| 杨氏模量 / Young se Modulus | 430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalGeleidingsvermoë | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termiese Uitbreiding (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy is die ware vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met verskillende bedekkings soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., en kan verskeie pasgemaakte onderdele vir die halfgeleier- en fotovoltaïese industrie lewer.
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings vir u bied.
Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf, en het 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie ontwikkel wat die binding tussen die deklaag en die substraat stywer en minder geneig tot loslating kan maak.
Ons verwelkom u hartlik om ons fabriek te besoek, kom ons gesels verder!
