Pembawa Grafit MOCVD kalayan Lapisan CVD SiC

Pedaran Singkat:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor mangrupikeun produk kinerja tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng tiasa dipercaya salami waktos anu lami. Éta ngagaduhan résistansi panas sareng keseragaman termal anu super saé, kamurnian anu luhur, résistansi erosi, jantenkeun solusi anu sampurna pikeun aplikasi pamrosésan wafer.

 

 


Rincian Produk

Tag Produk

Susceptor grafit anu dilapis SiC mangrupikeun komponén konci anu dianggo dina rupa-rupa prosés manufaktur semikonduktor. Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngadamel susceptor kalayan kamurnian anu luhur pisan, seragamna palapis anu saé sareng umur jasa anu saé pisan, ogé sipat résistansi kimia sareng stabilitas termal anu luhur.

6

Fitur-fitur produk kami:

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. Kamurnian anu luhur sareng keseragaman termal
3. Résistansi korosi anu saé pisan: réagen asam, alkali, uyah sareng organik.

4. Karasa luhur, permukaan kompak, partikel anu lemes.
5. Umur layanan anu langkung lami sareng langkung awét

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2 ~ 10μm

纯度 / Kamurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Young

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / TermalKonduktivitas

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy nyaéta produsén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan rupa-rupa lapisan sapertos lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon glassy, ​​lapisan karbon pirolitik, jsb., tiasa nyayogikeun rupa-rupa suku cadang khusus pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih, sareng parantos ngadamel téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.

Wilujeng sumping ka pabrik kami, hayu urang diskusi salajengna!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Saméméhna:
  • Teras:

  • Obrolan Online WhatsApp!