Susceptor grafit anu dilapis SiC mangrupikeun komponén konci anu dianggo dina rupa-rupa prosés manufaktur semikonduktor. Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngadamel susceptor kalayan kamurnian anu luhur pisan, seragamna palapis anu saé sareng umur jasa anu saé pisan, ogé sipat résistansi kimia sareng stabilitas termal anu luhur.
Fitur-fitur produk kami:
1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. Kamurnian anu luhur sareng keseragaman termal
3. Résistansi korosi anu saé pisan: réagen asam, alkali, uyah sareng organik.
4. Karasa luhur, permukaan kompak, partikel anu lemes.
5. Umur layanan anu langkung lami sareng langkung awét
| CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis | |
| 性质 / Harta | 典型数值 / Nilai Khas |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Kapadetan | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Karasa | 2500 维氏硬度(500g beban) |
| 晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kamurnian Kimia | 99.99995% |
| 热容 / Kapasitas Panas | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitas | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy nyaéta produsén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan rupa-rupa lapisan sapertos lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon glassy, lapisan karbon pirolitik, jsb., tiasa nyayogikeun rupa-rupa suku cadang khusus pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.
Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih, sareng parantos ngadamel téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.
Wilujeng sumping ka pabrik kami, hayu urang diskusi salajengna!















