Portador de grafit MOCVD amb recobriment CVD de SiC

Imatge destacada de suport de grafit MOCVD amb recobriment CVD de SiC

Descripció breu:

El susceptor MOCVD recobert de SiC de VET Energy és un producte d'alt rendiment dissenyat per proporcionar un rendiment consistent i fiable durant un període prolongat. Té una resistència a la calor i uniformitat tèrmica súper bones, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que el converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament de làmines.

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

El susceptor de grafit recobert de SiC és un component clau utilitzat en diversos processos de fabricació de semiconductors. Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fabricar el susceptor amb una puresa extremadament alta, una bona uniformitat de recobriment i una excel·lent vida útil, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a altes temperatures fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcids, àlcalis, sals i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més durador

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques del SiC CVDrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura cristal·lina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500g）
晶粒大小 / Mida del gra	2~10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de Young	Corba de 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / TermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy és el fabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc., i pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria dels semiconductors i la fotovoltaica.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.

Desenvolupem contínuament processos avançats per oferir materials més avançats i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més ferma i menys propensa al despreniment.

Us donem una calorosa benvinguda a visitar la nostra fàbrica, parlem-ne més!