SiC kaplı grafit susceptor, çeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan önemli bir bileşendir. Patentli teknolojimizi kullanarak, son derece yüksek saflıkta, iyi kaplama homojenliğinde ve mükemmel kullanım ömrünün yanı sıra yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahip susceptor üretiyoruz.
Ürünlerimizin özellikleri:
1. 1700℃'ye kadar yüksek sıcaklık oksidasyon direnci.
2. Yüksek saflık ve termal homojenlik
3. Mükemmel korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklıdır.
4. Yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
5. Daha uzun kullanım ömrü ve daha dayanıklı
| CVD SiCAmerika Birleşik Devletleri CVD SiC'nin temel fiziksel özelliklerikaplama | |
| 性质 / Mülk | 典型数值 / Tipik Değer |
| 晶体结构 / Kristal Yapısı | FCC β fazı多晶,主要为（111) |
| 密度 / Yoğunluk | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Sertlik | 2500 kg yük (500g yük) |
| 晶粒大小 / Tane Boyutu | 2~10 μm |
| 纯度 / Kimyasal Saflık | 99.99995% |
| 热容 / Isı Kapasitesi | 640 J·kg-1K-1 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Süblimasyon Sıcaklığı | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Eğilme Mukavemeti | 415 MPa RT 4 noktalı |
| 杨氏模量 / Young Modülü | 430 Gpa 4 noktalı büküm, 1300℃ |
| 导热系数 / Thermalİletkenlik | 300W·m-1K-1 |
| Amerika Birleşik Devletleri / Termal Genleşme (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi farklı kaplamalara sahip özelleştirilmiş grafit ve silisyum karbür ürünlerinin gerçek üreticisidir ve yarı iletken ve fotovoltaik endüstrisi için çeşitli özelleştirilmiş parçalar tedarik edebilir.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.
Sürekli olarak daha gelişmiş malzemeler sağlamak için ileri süreçler geliştiriyoruz ve kaplama ile alt tabaka arasındaki bağı daha sıkı ve ayrılmaya daha az eğilimli hale getirebilen özel, patentli bir teknoloji geliştirdik.
Fabrikamızı ziyaret etmenizden memnuniyet duyarız, daha detaylı görüşelim!
