MOCVD Graphite Carrier na may CVD SiC Coating

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor ay isang produktong may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa mahabang panahon. Mayroon itong napakagandang resistensya sa init at thermal uniformity, mataas na kadalisayan, at resistensya sa erosyon, kaya ito ang perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagproseso ng wafer.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang SiC coated graphite susceptor ay isang mahalagang bahagi na ginagamit sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ginagamit namin ang aming patentadong teknolohiya upang makagawa ng susceptor na may napakataas na kadalisayan, mahusay na pagkakapareho ng patong at mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rin ang mataas na kemikal na resistensya at thermal stability properties.

Mga Tampok ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperaturang resistensya sa oksihenasyon hanggang 1700℃.
2. Mataas na kadalisayan at pagkakapareho ng init
3. Napakahusay na resistensya sa kalawang: asido, alkali, asin at mga organikong reagent.
4. Mataas na katigasan, siksik na ibabaw, pinong mga partikulo.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing katangiang pisikal ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Kayarian ng Kristal	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Sukat ng Butil	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng Init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimasyon	2700℃
抗弯强度 / Lakas ng Pagbaluktot	415 MPa RT 4-punto
杨氏模量 / Modulus ni Young	430 Gpa 4pt liko, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pagpapalawak ng Init (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy ay ang tunay na tagagawa ng mga pasadyang produktong graphite at silicon carbide na may iba't ibang patong tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp., at maaaring magtustos ng iba't ibang pasadyang piyesa para sa industriya ng semiconductor at photovoltaic.

Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Patuloy kaming bumubuo ng mga advanced na proseso upang makapagbigay ng mas advanced na mga materyales, at nakabuo ng isang eksklusibong patentadong teknolohiya, na maaaring gawing mas mahigpit at hindi gaanong madaling matanggal ang pagkakadikit sa pagitan ng patong at ng substrate.

Malugod naming tinatanggap ang pagbisita sa aming pabrika, magkaroon tayo ng karagdagang talakayan!