Φορέας γραφίτη MOCVD με επίστρωση CVD SiC

Σύντομη Περιγραφή:

Το VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για να παρέχει συνεπή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα και αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την ιδανική λύση για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Ο επικαλυμμένος με SiC γραφίτης υποδοχέας είναι ένα βασικό συστατικό που χρησιμοποιείται σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Χρησιμοποιούμε την κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία μας για να κατασκευάσουμε τον υποδοχέα με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, καθώς και υψηλές χημικές ιδιότητες αντοχής και θερμικής σταθερότητας.

Χαρακτηριστικά των προϊόντων μας:

1. Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία έως 1700℃.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία
3. Άριστη αντοχή στη διάβρωση: όξινα, αλκαλικά, αλατισμένα και οργανικά αντιδραστήρια.
4. Υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
5. Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και πιο ανθεκτικός

Καρδιαγγειακά νοσήματα SiC薄膜基本物理性能 Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση
性质 / Ακίνητα	典型数值 / Τυπική τιμή
晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή	Φάση β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Πυκνότητα	3,21 g/cm³
硬度 / Σκληρότητα	2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)
晶粒大小 / Μέγεθος κόκκων	2~10μm
纯度 / Χημική Καθαρότητα	99,99995%
热容 / Θερμοχωρητικότητα	640 J·kg^-1·Κ^-1
升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης	2700℃
抗弯强度 / Αντοχή σε κάμψη	415 MPa RT 4 σημείων
杨氏模量 / Μέτρο ελαστικότητας του Young	430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃
导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο	300W·m^-1·Κ^-1
热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου κατά παραγγελία με διαφορετικές επιστρώσεις όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα κ.λπ., και μπορεί να προμηθεύσει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για τη βιομηχανία ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών.

Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να σας προσφέρει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικών.

Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για να παρέχουμε πιο προηγμένα υλικά και έχουμε αναπτύξει μια αποκλειστική, κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφθείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!