MOCVD grafytdrager mei CVD SiC-coating

Koarte beskriuwing:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor is in heechweardige produkt ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmtebestriding en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazjebestriding, wêrtroch it de perfekte oplossing is foar waferferwurkingsapplikaasjes.

 


Produktdetail

Produktlabels

SiC-coated grafytsusceptor is in kaaikomponint dat brûkt wurdt yn ferskate healgeleiderproduksjeprosessen. Wy brûke ús patintearre technology om de susceptor te meitsjen mei ekstreem hege suverens, goede coatinguniformiteit en in poerbêste libbensdoer, lykas hege gemyske wjerstân en termyske stabiliteitseigenskippen.

6

Eigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700 ℃.
2. Hege suverens en termyske uniformiteit
3. Uitstekende korrosjebestriding: soer, alkali, sâlt en organyske reagentia.

4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere tsjinstlibben en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking

性质 / Eigendom

典型数值 / Typyske wearde

晶体结构 / Kristalstruktuer

FCC β-faze多晶,主要为(111)取向

密度 / Dichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hurdens

2500 维氏硬度(500g lading)

晶粒大小 / Nôtgrutte

2~10μm

纯度 / Gemyske suverens

99.99995%

热容 / Waarmtekapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaasjetemperatuer

2700 ℃

抗弯强度 / Bûgingssterkte

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃

导热系数 / TermalGeliedingsfermogen

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzen koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh., en kin ferskate oanpaste ûnderdielen leverje foar de healgeleider- en fotovoltaïske yndustry.

Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker en minder gefoelich foar loslitting meitsje kin.

Wolkom jo graach om ús fabryk te besykjen, lit ús fierder prate!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!