MOCVD Graphite Carrier ma le CVD SiC Coating

Fa'amatalaga Pupuu:

O le VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor o se oloa maualuga le fa'atinoga ua mamanuina e tu'uina atu ai le fa'atinoga faifai pea ma fa'atuatuaina i se vaitaimi umi. E matua'i lelei lona tete'e atu i le vevela ma le tutusa o le vevela, maualuga le mama, tete'e atu i le ele, ma avea ai ma fofo atoatoa mo fa'aoga fa'agasologa o le wafer.

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Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

O le susceptor graphite ua ufiufi i le SiC o se vaega autū e faʻaaogaina i le tele o faiga gaosiga o semiconductor. Matou te faʻaaogaina la matou tekinolosi ua pateniina e fai ai le susceptor i se tulaga mama maualuga, tutusa lelei le ufiufi ma se olaga tautua sili ona lelei, faʻapea foʻi ma le teteʻe maualuga i vailaʻau ma le mautu i le vevela.

Vaega o a matou oloa:

1. Tete'e atu i le fa'ama'i o le vevela maualuga e o'o atu i le 1700 ℃.
2. Mama maualuga ma le tutusa o le vevela
3. Tete'e lelei i le 'ele: 'āsi, alkali, masima ma vaila'au fa'aola.
4. Ma'a'a maualuga, laualuga mafiafia, fasi manifinifi.
5. Umi atu le ola tautua ma sili atu ona tumau

CVD SiC薄膜基本物理性能 Uiga faaletino faavae o le CVD SiCufiufi
性质 / Meatotino	典型数值 / Taua Masani
晶体结构 / Fausaga o le Kilisitala	Vaega β o le FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Mafiafia	3.21 kalama/cm³
硬度 / Faigata	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Tele o le saito	2~10μm
纯度 / Mamā Fa'akemikolo	99.99995%
热容 / Malosiaga o le Vevela	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Vevela o le Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Malosiaga Fa'alava	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Modulus a Young	430 Gpa 4pt pi'o, 1300℃
导热系数 / ThermalAmioga	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fa'alauteleina o le Vevela (CTE)	4.5×10^-6K^-1

O le VET Energy o le kamupani gaosi oloa fa'apitoa mo le graphite ma le silicon carbide ma oloa vali eseese e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi, e mafai ona sapalai vaega eseese fa'apitoa mo le alamanuia semiconductor ma le photovoltaic.

O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo oe.

Matou te faʻaauau pea ona atiaʻe ni faiga faʻaonaponei e tuʻuina atu ai meafaitino e sili atu ona faʻaonaponei, ma ua matou faia se tekinolosi faʻapitoa ua pateniina, lea e mafai ona faʻamautu ai le pipii i le va o le ufiufi ma le mea e fai ai ma faʻaitiitia ai le faigofie ona motusia.

Faafeiloa'i atu ma le agalelei oe e asiasi mai i la matou fale gaosimea, se'i o tatou faia nisi talanoaga!