MOCVD Grafitträger mat CVD SiC Beschichtung

Kuerz Beschreiwung:

De VET Energy SiC-beschichtete MOCVD Susceptor ass en héichperformant Produkt, dat entwéckelt gouf fir eng konsequent a verlässlech Leeschtung iwwer eng länger Zäit ze bidden. En huet eng super gutt Hëtztbeständegkeet an thermesch Uniformitéit, eng héich Rengheet an eng Erosiounsbeständegkeet, wat en zur perfekter Léisung fir Waferveraarbechtungsapplikatioune mécht.

 


Produktdetailer

Produkt Tags

E SiC-beschichtete Graphit-Susceptor ass eng Schlësselkomponent, déi a verschiddene Prozesser vun der Hallefleederherstellung benotzt gëtt. Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir de Susceptor mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an enger exzellenter Liewensdauer, souwéi héijer chemescher Resistenz an thermescher Stabilitéitseigenschaften ze produzéieren.

6

Eegeschafte vun eise Produkter:

1. Oxidatiounsbeständegkeet bei héijer Temperatur bis zu 1700 ℃.
2. Héich Rengheet a thermesch Uniformitéit
3. Excellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenzien.

4. Héich Härkeet, kompakt Uewerfläch, fein Partikelen.
5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung

性质 / Immobilie

典型数值 / Typesche Wäert

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β Phase多晶,主要为(111) 取向

密度 / Dicht

3,21 g/cm³

硬度 / Häert

2500 维氏硬度(500g Belaaschtung)

晶粒大小 / Kärengréisst

2~10μm

纯度 / Chemesch Rengheet

99,99995%

热容 / Hëtztkapazitéit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatiounstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Biegfestigkeit

415 MPa RT 4-Punkt

杨氏模量 / Young säi Modul

430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃

导热系数 / ThermalKonduktivitéit

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermesch Expansioun (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy ass den eigentleche Produzent vu personaliséierte Graphit- a Siliziumcarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, glasartiger Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., a kann verschidden personaliséiert Deeler fir d'Hallefleeder- a Photovoltaikindustrie liwweren.

Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.

Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie entwéckelt, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofléisen mécht.

Mir wëllkomm Iech häerzlech wëllkomm fir eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider diskutéieren!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Virdrun:
  • Weider:

  • WhatsApp Online Chat!