A SiC-bevonatú grafit szuszceptor kulcsfontosságú alkatrész, amelyet különféle félvezetőgyártási folyamatokban használnak. Szabadalmaztatott technológiánkat alkalmazva rendkívül nagy tisztaságú, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyi ellenállósággal és hőstabilitással rendelkező szuszceptort állítunk elő.
Termékeink jellemzői:
1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb
| szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Kristályszerkezet | FCC β fázis多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g-os töltet) |
| 晶粒大小 / Szemcseméret | 2~10 μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítószilárdság | 415 MPa RT 4-pontos |
| 杨氏模量 / Young modulusa | 430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalVezetőképesség | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
A VET Energy a testreszabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója, különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üvegkarbon bevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., és különféle testreszabott alkatrészeket szállít a félvezető és fotovoltaikus ipar számára.
Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Folyamatosan fejlesztjük a fejlettebb eljárásokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!
