Графитовый носитель MOCVD с покрытием CVD SiC

Краткое описание:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает суперхорошей термостойкостью и тепловой однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для приложений обработки пластин.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

Графитовый токоприемник с покрытием SiC является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления токоприемника с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.

Особенности нашей продукции:

1. Стойкость к окислению при высоких температурах до 1700℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твёрдость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1

Компания VET Energy является реальным производителем индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., а также может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!