Графитовый носитель, полученный методом MOCVD, с покрытием из карбида кремния, полученным методом CVD.

Краткое описание:

Подложка VET Energy SiC Coated MOCVD — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Она обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает ее идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Графитовый подложечный электрод с покрытием из карбида кремния (SiC) является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления подложечных электродов с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостойкостью.

Особенности нашей продукции:

1. Высокая термостойкость к окислению до 1700℃.
2. Высокая чистота и равномерность термической обработки.
3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая долговечность.

ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 Кристаллическая структура	β-фаза ГЦК多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твердость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2–10 мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 Модуль Юнга	4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)	4,5×10^-6K^-1

Компания VET Energy является производителем изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, стеклоуглерод, пиролитический углерод и др., и может поставлять различные детали на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для получения более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!