MOCVD графитен носител с CVD SiC покритие

Кратко описание:

Сусцепторът VET Energy SiC Coated MOCVD е високопроизводителен продукт, проектиран да осигурява постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Той има супер добра топлоустойчивост и термична равномерност, висока чистота и устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на пластини.

 


Детайли за продукта

Етикети на продукти

Графитният токоприемник с SiC покритие е ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници. Ние използваме нашата патентована технология, за да направим токоприемника с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и с висока химическа устойчивост и термична стабилност.

6

Характеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.

4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основни физични свойства на CVD SiCпокритие

性质 / Имот

典型数值 / Типична стойност

晶体结构 / Кристална структура

FCC β фаза多晶,主要为(111) 取向

密度 / Плътност

3,21 г/см³

硬度 / Твърдост

2500 维氏硬度(500g товар)

晶粒大小 / Размер на зърното

2~10μm

纯度 / Химическа чистота

99,99995%

热容 / Топлинен капацитет

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура на сублимация

2700℃

抗弯强度 / Якост на огъване

415 MPa RT 4-точков

杨氏模量 / Модул на Юнг

430 Gpa 4pt огъване, 1300℃

导热系数 / ТермалПроводимост

300W·m-1·К-1

热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy е истинският производител на персонализирани графитни и силициево-карбидни продукти с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-съвременни материали, и сме разработили ексклузивна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и основата по-здрава и по-малко податлива на отлепване.

Сърдечно Ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека обсъдим по-нататък!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предишно:
  • Следващо:

  • Онлайн чат в WhatsApp!