CVD SiC бүрхүүлтэй MOCVD графит тээвэрлэгч

CVD SiC бүрхүүлтэй MOCVD графит зөөгч Онцлох зураг

Товч тайлбар:

VET Energy SiC бүрсэн MOCVD Susceptor нь удаан хугацааны турш тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангах зорилготой өндөр хүчин чадалтай бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал, өндөр цэвэршилт, элэгдэлд тэсвэртэй тул вафли боловсруулах хэрэглээнд төгс шийдэл болдог.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

SiC бүрсэн бал чулуун сусцептор нь янз бүрийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ашиглагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Бид патентлагдсан технологийг ашиглан маш өндөр цэвэршилттэй, сайн бүрэх жигд байдалтай, маш сайн ашиглалтын хугацаатай, мөн өндөр химийн эсэргүүцэлтэй, дулааны тогтвортой шинж чанартай сусцепторыг хийдэг.

Манай бүтээгдэхүүний онцлог шинж чанарууд:

1. 1700℃ хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл.
2. Өндөр цэвэршилт ба дулааны жигд байдал
3. Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс болон органик урвалжууд.
4. Өндөр хатуулаг, авсаархан гадаргуу, нарийн ширхэгтэй.
5. Үйлчилгээний хугацаа урт, илүү бат бөх

Зүрх судасны өвчин SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягтрал	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ	2~10μm
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Ж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын хүч	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Янгийн модуль	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / ТермалЦахилгаан дамжуулах чанар	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy нь SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт янз бүрийн бүрхүүлтэй захиалгат бал чулуу болон цахиурын карбидын бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч бөгөөд хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрт зориулсан төрөл бүрийн захиалгат эд ангиудыг нийлүүлж чаддаг.

Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд танд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадна.

Бид илүү дэвшилтэт материалыг гаргахын тулд дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж, бүрхүүл болон суурь материалын хоорондох холбоог илүү нягтруулж, салгах магадлалыг бууруулдаг онцгой патентлагдсан технологийг боловсруулсан.

Манай үйлдвэрт зочлохыг урьж байна, цаашид ярилцъя!