CVD SiC örtükli MOCVD grafit daşaýjysy

Gysgaça düşündiriş:

VET Energy SiC bilen örtülen MOCVD Susceptor uzak wagtlap yzygiderli we ygtybarly işlemegi üpjün etmek üçin döredilen ýokary öndürijilikli önümdir. Ol örän gowy ýylylyga we termal deňlige, ýokary arassalyga, eroziýa garşylygyna eýedir, bu bolsa ony wafer gaýtadan işlemek üçin ajaýyp çözgüt edýär.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jiklikleri

Önümiň tegleri

SiC örtükli grafit susseptory dürli ýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde ulanylýan esasy bölekdir. Biz patentlenen tehnologiýamyzy ulanyp, örän ýokary arassalyga, gowy örtük deňligine we ajaýyp hyzmat möhletine, şeýle hem ýokary himiki garşylyga we termal durnuklylyk häsiýetlerine eýe bolan susseptory ýasaýarys.

Önümlerimiziň aýratynlyklary:

1. 1700℃ çenli ýokary temperatura oksidlenme garşylygy.
2. Ýokary arassalyk we termal deňlik
3. Ajaýyp korroziýa garşylyk: kislota, şeker, duz we organiki reagentler.
4. Ýokary gatylyk, ykjam ýüz, ownuk bölejikler.
5. Hyzmat möhleti has uzak we has berk

Ýürek-damar keselleri SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-niň esasy fiziki häsiýetleriörtük
性质 / Emläk	典型数值 / Adaty gymmatlyk
晶体结构 / Kristal gurluşy	FCC β fazasy多晶，主要为（111 ）取向
密度 / Dykyzlyk	3.21 g/sm³
硬度 / Gatylyk	2500 维氏硬度（ 500g ýük）
晶粒大小 / Däne SiZe	2~10μm
纯度 / Himiki arassalyk	99.99995%
热容 / Ýylylyk kuwwaty	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasiýa temperaturasy	2700℃
抗弯强度 / Bükülme güýji	415 MPa RT 4-nokat
杨氏模量 / Ýaşyň moduly	430 Gpa 4pt bükülme, 1300℃
导热系数 / TermalGeçirijilik	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termal giňelme (CTE)	4.5×10^-6K^-1

"VET Energy" kompaniýasy SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi ýaly dürli örtükleri bolan grafit we kremniý karbid önümleriniň hakyky öndürijisidir we ýarymgeçiriji we fotowoltaik senagat üçin dürli ýöriteleşdirilen bölekleri üpjün edip bilýär.

Biziň tehniki toparymyz ýerli ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar, size has professional material çözgütlerini hödürläp biler.

Biz has ösen materiallary üpjün etmek üçin yzygiderli ösen prosesleri işläp düzýäris we örtük bilen substratyň arasyndaky baglanyşygy has berk we aýrylmagy has az mümkin edýän eksklýuziw patentlenen tehnologiýany işläp düzdik.

Sizi fabrikamyza baryp görmäge mähirli garşylaýarys, geliň, has giňişleýin gürrüň edeliň!