Pembawa Grafit MOCVD nganggo Lapisan SiC CVD

Katrangan Cekak:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Produk iki nduweni tahan panas lan keseragaman termal sing apik banget, kemurnian dhuwur, tahan erosi, saengga dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

 

 


Rincian Produk

Tag Produk

Susceptor grafit sing dilapisi SiC minangka komponen kunci sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor. Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe susceptor kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik banget, uga tahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.

6

Fitur produk kita:

1. Tahan oksidasi suhu dhuwur nganti 1700℃.
2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik banget: reagen asam, alkali, uyah lan organik.

4. Kekerasan dhuwur, permukaan kompak, partikel alus.
5. Umur layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2 ~ 10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Young

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / TermalKonduktivitas

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy minangka produsen nyata produk grafit lan silikon karbida khusus kanthi macem-macem lapisan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Kita terus-terusan ngembangake proses canggih kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih canggih, lan wis nggarap teknologi sing dipatenake eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan substrat luwih kenceng lan ora gampang copot.

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo padha rembugan luwih lanjut!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Obrolan Online WhatsApp!