MOCVD Grafita Mitondra miaraka amin'ny CVD SiC Coating

Sary nasongadina momba ny mpitatitra grafita MOCVD misy sosona CVD SiC

Famaritana fohy:

Ny VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor dia vokatra avo lenta natao hanomezana fahombiazana tsy tapaka sy azo ianteherana mandritra ny fotoana maharitra. Manana fanoherana hafanana sy fitoviana mafana tena tsara izy io, fahadiovana avo lenta, fanoherana ny fahasimbana, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra amin'ny fampiharana fanodinana wafer.

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

Singa fototra ampiasaina amin'ny famokarana semiconductor isan-karazany ny susceptor grafita voarakotra SiC. Mampiasa ny teknolojia manana patanty izahay mba hanaovana ny susceptor manana fahadiovana avo lenta, fitoviana tsara amin'ny coating ary faharetan'ny fampiasana tsara, ary koa fanoherana simika sy fahamarinan-toerana mafana avo lenta.

Toetra mampiavaka ny vokatra atolotray:

1. Fanoherana ny oksidasiona amin'ny mari-pana avo hatramin'ny 1700 ℃.
2. Fahadiovana avo lenta sy fitoviana ara-hafanana
3. Fanoherana harafesina tsara dia tsara: asidra, alkali, sira ary akora organika.
4. Hamafin'ny tany, velarana matevina, poti-javatra madinika.
5. Faharetana maharitra kokoa ary maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 Toetra ara-batana fototra an'ny CVD SiCfanosotra
性质 / Fananana	典型数值 / Sanda mahazatra
晶体结构 / Rafitra Kristaly	Dingana FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Hakitroky	3.21 g/sm³
硬度 / Fahamafisana	2500 维氏硬度（500g entana）
晶粒大小 / Haben'ny voamaina	2~10μm
纯度 / Fahadiovana simika	99.99995%
热容 / Fahafahana mafana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Hafanana Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Tanjaka miolikolika	415 MPa RT 4-teboka
杨氏模量 / Modulus an'i Young	430 Gpa 4pt miolikolika, 1300℃
导热系数 / ThermalFitondran-tena	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fanitarana ny hafanana (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ny VET Energy no tena mpanamboatra vokatra grafita sy karbida silikônina namboarina manokana miaraka amin'ny coatings samihafa toy ny coating SiC, coating TaC, coating karbônina glassy, coating karbônina pyrolytic, sns., ary afaka mamatsy kojakoja namboarina manokana isan-karazany ho an'ny indostrian'ny semiconductor sy photovoltaic.

Avy amin'ny andrim-pikarohana ambony ao an-toerana ny ekipa ara-teknika anay, afaka manome vahaolana ara-nofo matihanina kokoa ho anao.

Mamolavola hatrany fomba fiasa mandroso izahay mba hanomezana fitaovana mandroso kokoa, ary efa namorona teknolojia manokana manana patanty, izay afaka manamafy orina kokoa ny fifamatorana misy eo amin'ny coating sy ny substrate ary tsy mora misaraka loatra.

Tongasoa eto amin'ny orinasanay, andao hiresaka bebe kokoa!