SiC lodička a držák oplatek pro vertikální pec
Loď s destičkami z karbidu křemíkuslouží primárně k podepření a transportu destiček při vysokoteplotních tepelných procesech polovodičových destiček, jako je difúze, oxidace a žíhání. Jeho výkon přímo ovlivňuje kvalitu destiček a efektivitu výroby.
Konstrukční návrhy lodičky z karbidu křemíku:
Obvykle má štěrbinovou nebo hřebenovou strukturu;
Více slotů pro umisťování a oddělování waferů;
Navrženo s ohledem na distribuci proudění plynu a zajišťuje rovnoměrné vytápění a chlazení;
Vhodné pro vertikální i horizontální pec;
Určeno pro různé velikosti, jako jsou 3palcové, 4palcové, 6palcové, 8palcové a 12palcové destičky.
Lodičky z karbidu křemíku od společnosti VET Energy jsou vyrobeny s využitím pokročilé technologie spékání a jsou speciálně navrženy tak, aby splňovaly přísné požadavky na nosiče procesů pro pokročilou výrobu polovodičů. Jejich vynikající technické výhody se odrážejí především v následujících aspektech:
1. Maximální čistota a ultranízká kontaminace
Použitím ultra čistých surovin zajišťujeme extrémně nízký obsah kovových iontů (méně než 1 ppm pro Na, K, Fe a Ca). Minimální srážení při vysokých teplotách účinně zabraňuje kontaminaci destiček, což zajišťuje vysoký výtěžek a spolehlivost čipů, což z nich činí ideální volbu pro ty, kteří usilují o dokonalost procesů.
2. Vynikající tepelný výkon a stabilita
Naše SiC wafery se vyznačují extrémně vysokou tepelnou vodivostí a vynikající odolností vůči tepelným šokům. Dokážou odolat rychlým teplotním výkyvům od pokojové teploty do 1600 °C bez praskání nebo deformace, což zajišťuje opakovatelnost a konzistenci procesu a výrazně snižuje neplánované prostoje způsobené problémy s nosiči.
3. Mimořádná odolnost proti korozi a mechanická pevnost
Vysoká tvrdost a silná odolnost proti opotřebení spolu s výjimečnou odolností vůči kyselému a zásaditému prostředí daleko převyšuje křemen a grafit. Jeho výjimečná mechanická pevnost účinně zabraňuje tvorbě částic během časté automatizované manipulace, čímž výrazně prodlužuje jeho životnost a snižuje celkové provozní náklady.
4. Precizní design a vynikající konzistence
Využíváním pokročilých technologií lisování a zpracování zajišťujeme, aby každá lodička s destičkami měla přesné geometrické rozměry a vynikající přesnost povrchu, což zajišťuje rovnoměrné rozteče destiček a stabilní proudění vzduchu.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
| 性质 / Nemovitost | 典型数值 / Typická hodnota |
| 使用温度/ Provozní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukční prostředí) |
| SiC含量/ Obsah SiC | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Obsah zdarma Si | < 0,1 % |
| 体积密度/Objemová hustota | 2,60–2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Zdánlivá pórovitost | < 16 % |
| 抗压强度/ Pevnost v tlaku | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Pevnost v ohybu za studena | 80–90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Pevnost v ohybu za tepla | 90–100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Tepelná roztažnost při 1500 °C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Tepelná vodivost při 1200 °C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Modul pružnosti | 240 GPa |
| 抗热震性/ Odolnost proti tepelným šokům | Extrémně dobré |
Společnost VET Energy je profesionální výrobce zaměřený na výzkum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálů, jako je grafit, karbid křemíku a křemen, a také na zpracování materiálů, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.
Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.
Výhody VET Energy zahrnují:
• Vlastní továrna a profesionální laboratoř;
• Špičková úroveň čistoty a kvality v oboru;
• Konkurenceschopná cena a rychlé dodání;
• Mnohočetná průmyslová partnerství po celém světě;
Vítáme vás kdykoli k návštěvě naší továrny a laboratoře!
