SiC-wafelhouder en -boot voor verticale oven

SiC-wafelhouder en -boot voor verticale oven

Siliciumcarbide waferbootHet is primair bedoeld voor het ondersteunen en transporteren van de wafers tijdens thermische processen bij hoge temperaturen, zoals diffusie, oxidatie en gloeien. De prestaties ervan hebben een directe invloed op de kwaliteit van de wafers en de productie-efficiëntie.

De structurele ontwerpen van siliciumcarbide waferboten:
Het heeft doorgaans een gegroefde of kamachtige structuur;
Meerdere sleuven voor het plaatsen en scheiden van wafers;
Ontworpen om rekening te houden met de gasstroomverdeling, waardoor een gelijkmatige verwarming en koeling wordt gegarandeerd;
Geschikt voor verticale en horizontale ovens;
Ontworpen voor verschillende formaten, zoals wafers van 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch en 12 inch.

De siliciumcarbide waferdragers van VET Energy worden vervaardigd met behulp van geavanceerde sintertechnologie en zijn specifiek ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen voor procesdragers in de geavanceerde halfgeleiderproductie. Hun superieure technische voordelen komen met name tot uiting in de volgende aspecten:

1. Ultieme zuiverheid en ultralage verontreiniging
Door gebruik te maken van ultrazuivere grondstoffen garanderen we dat het product een extreem laag gehalte aan metaalionen heeft (minder dan 1 ppm voor Na, K, Fe en Ca). Minimale neerslag bij hoge temperaturen voorkomt effectief waferverontreiniging, wat een hoge chipopbrengst en betrouwbaarheid garandeert. Dit maakt ze een ideale keuze voor diegenen die streven naar procesperfectie.
2. Uitstekende thermische prestaties en stabiliteit
Onze SiC-waferhouders hebben een extreem hoge thermische geleidbaarheid en een uitstekende thermische schokbestendigheid. Ze kunnen snelle temperatuurschommelingen van kamertemperatuur tot 1600 °C weerstaan ​​zonder te barsten of te vervormen, waardoor de herhaalbaarheid en consistentie van het proces worden gewaarborgd en ongeplande stilstand als gevolg van problemen met de drager aanzienlijk wordt verminderd.
3. Buitengewone corrosiebestendigheid en mechanische sterkte
De hoge hardheid en sterke slijtvastheid, gecombineerd met een uitzonderlijke weerstand tegen zure en alkalische omgevingen, overtreffen kwarts en grafiet ruimschoots. De uitzonderlijke mechanische sterkte voorkomt effectief de vorming van deeltjes tijdens frequente geautomatiseerde verwerking, waardoor de levensduur aanzienlijk wordt verlengd en de totale bedrijfskosten worden verlaagd.
4. Nauwkeurig ontwerp en uitstekende consistentie
Door gebruik te maken van geavanceerde vorm- en verwerkingstechnologieën, zorgen we ervoor dat elke waferhouder nauwkeurige geometrische afmetingen en een uitstekende oppervlakteprecisie heeft, wat een uniforme waferafstand en een stabiele luchtstroom garandeert.