वर्टिकल फर्नेस के लिए SiC वेफर बोट और होल्डर

वर्टिकल फर्नेस के लिए SiC वेफर बोट और होल्डर

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नावइसका मुख्य कार्य डिफ्यूजन, ऑक्सीडेशन और एनीलिंग जैसी उच्च तापमान वाली सेमीकंडक्टर वेफर्स की थर्मल प्रक्रियाओं में वेफर्स को सहारा देना और उन्हें स्थानांतरित करना है। इसका प्रदर्शन सीधे वेफर उत्पाद की गुणवत्ता और उत्पादन क्षमता को प्रभावित करता है।

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव की संरचनात्मक डिजाइन:
इसमें आमतौर पर खांचेदार या कंघी जैसी संरचना होती है;
वेफर्स को रखने और अलग करने के लिए कई स्लॉट;
गैस प्रवाह वितरण को ध्यान में रखते हुए डिजाइन किया गया है, जिससे एकसमान ताप और शीतलन सुनिश्चित होता है;
ऊर्ध्वाधर भट्टी और क्षैतिज भट्टी दोनों के लिए उपयुक्त;
इसे 3 इंच, 4 इंच, 6 इंच, 8 इंच और 12 इंच जैसे विभिन्न आकारों के वेफर्स के लिए डिज़ाइन किया गया है।

VET Energy के सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्स उन्नत सिंटरिंग तकनीक का उपयोग करके तैयार किए जाते हैं और विशेष रूप से उन्नत सेमीकंडक्टर निर्माण की कठोर प्रक्रिया वाहक आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। इनके बेहतर तकनीकी लाभ मुख्य रूप से निम्नलिखित पहलुओं में परिलक्षित होते हैं:

1. सर्वोत्तम शुद्धता और अत्यंत कम संदूषण
अति उच्च शुद्धता वाले कच्चे माल का उपयोग करके, हम यह सुनिश्चित करते हैं कि उत्पाद में धातु आयनों की मात्रा अत्यंत कम हो (Na, K, Fe और Ca के लिए 1 ppm से कम)। उच्च तापमान पर न्यूनतम अवक्षेपण वेफर संदूषण को प्रभावी ढंग से रोकता है, जिससे उच्च चिप उत्पादन और विश्वसनीयता सुनिश्चित होती है, जो इसे प्रक्रिया में उत्कृष्टता प्राप्त करने के इच्छुक लोगों के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है।
2. उत्कृष्ट तापीय प्रदर्शन और स्थिरता
हमारे SiC वेफर बोट में अत्यधिक उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट तापीय आघात प्रतिरोध क्षमता है। ये कमरे के तापमान से लेकर 1600℃ तक के तीव्र तापमान परिवर्तन को बिना दरार या विरूपण के सहन कर सकते हैं, जिससे प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और स्थिरता सुनिश्चित होती है और वाहक संबंधी समस्याओं के कारण होने वाले अनियोजित डाउनटाइम में काफी कमी आती है।
3. असाधारण संक्षारण प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति
उच्च कठोरता और मजबूत घिसाव प्रतिरोध, साथ ही अम्लीय और क्षारीय वातावरण के प्रति असाधारण प्रतिरोध, क्वार्ट्ज और ग्रेफाइट से कहीं बेहतर है। इसकी असाधारण यांत्रिक शक्ति स्वचालित संचालन के दौरान कणों के निर्माण को प्रभावी ढंग से रोकती है, जिससे इसका सेवा जीवन काफी बढ़ जाता है और कुल परिचालन लागत कम हो जाती है।
4. सटीक डिज़ाइन और उत्कृष्ट एकरूपता
उन्नत मोल्डिंग और प्रसंस्करण प्रौद्योगिकियों का लाभ उठाते हुए, हम यह सुनिश्चित करते हैं कि प्रत्येक वेफर बोट में सटीक ज्यामितीय आयाम और उत्कृष्ट सतह सटीकता हो, जिससे एकसमान वेफर स्पेसिंग और स्थिर वायु प्रवाह सुनिश्चित हो सके।