Porézní grafitový kroužek potažený karbidem tantalu
Porézní grafit s povlakem z karbidu tantalu (TaC)je klíčový materiál vyvinutý speciálně pro vysokoteplotní a vysoce korozivní prostředí výroby polovodičů. Jeho substrátem je vysoce čistý izostatický grafit, potažený rovnoměrně porézním povlakem karbidu tantalu metodou chemického nanášení z plynné fáze (CVD). TaC má extrémně vysokou tvrdost (9-10 na Mohsově stupnici) a bod tání 3880 °C. V kombinaci s vynikající tepelnou stabilitou grafitu a jeho nízkou hmotností kombinuje tento materiál pevnost za vysokých teplot s odolností vůči chemickému působení a tepelným šokům, což z něj činí ideální volbu pro polovodičová procesní zařízení pracující v extrémních podmínkách.
Výhody porézního grafitu z karbidu tantalu:
1. Ultra vysoká odolnost proti korozi
-TaC je chemicky inertní, účinně odolává korozi způsobené halogeny, jako je fluor a chlor, čímž výrazně prodlužuje životnost zařízení.
- Porézní struktura zvětšuje povrchovou plochu povlaku, čímž vytváří robustnější ochrannou bariéru a snižuje riziko uvolňování částic.
2. Vynikající stabilita při vysokých teplotách
-S bodem tání blížícím se 4000 °C může pracovat po delší dobu ve vakuu nebo inertní atmosféře přesahující 2500 °C.
-Koeficient tepelné roztažnosti povlaku je vysoce sladěn s koeficientem grafitu, což zabraňuje praskání a delaminaci způsobené tepelnými cykly.
3. Vysoká čistota a nízká kontaminace
- Díky použití surovin a procesů polovodičové kvality je obsah kovových nečistot extrémně nízký, což výrazně snižuje riziko kontaminace destiček.
- Povrch je hustý a chemicky stabilní, což snižuje tvorbu částic a splňuje přísné normy pro čisté prostory.
4. Zakázkový design
Složité tvary lze vyrábět dle výkresů zákazníka a pórovitost a tloušťku povlaku lze regulovat pro dosažení optimálního proudění plynu a tepelné vodivosti.
5. Dlouhá životnost a nízké náklady na údržbu
Extrémně vysoká odolnost porézních povlaků TaC proti korozi a opotřebení zvyšuje životnost součástí 3–5krát ve srovnání s tradičním grafitem, čímž snižuje frekvenci výměn a náklady na údržbu.
Hlavní aplikace
1. Základní komponenty pro výrobu destiček
- Obložení reakční komory, přepážky a sprchová hlavice pro zařízení CVD/ALD
- Podpora PVD terčů
- Vysokoteplotní procesní komponenty pro difúzi, oxidaci, žíhání a další procesy
2. Systémy chemického nanášení z plynné fáze
- Ochrana klíčových součástí ve vysoce korozivním prostředí (jako jsou fluoridy a chloridy) během procesu
3. Jiná korozivní prostředí s vysokou teplotou
- Vhodné pro chemické čištění plynů, specializované pece pro tepelné zpracování a další aplikace.
Společnost VET Energy je profesionální výrobce zaměřený na výzkum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálů, jako je grafit, karbid křemíku a křemen, a také na zpracování materiálů, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.
Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.
Výhody VET Energy zahrnují:
• Vlastní továrna a profesionální laboratoř;
• Špičková úroveň čistoty a kvality v oboru;
• Konkurenceschopná cena a rychlé dodání;
• Mnohočetná průmyslová partnerství po celém světě;
Vítáme vás kdykoli k návštěvě naší továrny a laboratoře!
