SiC čoln in držalo za rezine za vertikalno peč

SiC čoln in držalo za rezine za vertikalno peč

Čoln iz silicijevega karbidaNamenjen je predvsem podpori in transportu rezin pri visokotemperaturnih termičnih procesih polprevodniških rezin, kot so difuzija, oksidacija in žarjenje. Njegova zmogljivost neposredno vpliva na kakovost rezin in učinkovitost proizvodnje.

Strukturne zasnove čolna iz silicijevega karbida:
Običajno ima režnato ali glavniku podobno strukturo;
Več rež za polaganje in ločevanje rezin;
Zasnovan z upoštevanjem porazdelitve pretoka plina, kar zagotavlja enakomerno ogrevanje in hlajenje;
Primerno za navpično peč in vodoravno peč;
Zasnovan za različne velikosti, kot so 3-palčne, 4-palčne, 6-palčne, 8-palčne, 12-palčne rezine.

Silikonske karbidne rezine podjetja VET Energy so izdelane z uporabo napredne tehnologije sintranja in so posebej zasnovane za izpolnjevanje strogih zahtev glede nosilcev procesov v napredni proizvodnji polprevodnikov. Njihove vrhunske tehnične prednosti se odražajo predvsem v naslednjih vidikih:

1. Vrhunska čistost in izjemno nizka kontaminacija
Z uporabo izjemno čistih surovin zagotavljamo izjemno nizko vsebnost kovinskih ionov (manj kot 1 ppm za Na, K, Fe in Ca). Minimalno obarjanje pri visokih temperaturah učinkovito preprečuje kontaminacijo rezin, kar zagotavlja visok izkoristek čipov in zanesljivost, zaradi česar so idealna izbira za tiste, ki si prizadevajo za popolnost procesa.
2. Odlična toplotna zmogljivost in stabilnost
Naše SiC rezine imajo izjemno visoko toplotno prevodnost in odlično odpornost na toplotne šoke. Prenesejo lahko hitra temperaturna nihanja od sobne temperature do 1600 ℃ brez razpok ali deformacij, kar zagotavlja ponovljivost in doslednost procesa ter znatno zmanjšuje nenačrtovane izpade zaradi težav z nosilci.
3. Izjemna odpornost proti koroziji in mehanska trdnost
Visoka trdota in močna odpornost proti obrabi, skupaj z izjemno odpornostjo na kisla in alkalna okolja, daleč prekaša kremen in grafit. Njegova izjemna mehanska trdnost učinkovito preprečuje nastajanje delcev med pogostim avtomatiziranim rokovanjem, kar znatno podaljša njegovo življenjsko dobo in zmanjša skupne obratovalne stroške.
4. Natančna zasnova in odlična doslednost
Z uporabo naprednih tehnologij oblikovanja in obdelave zagotavljamo, da ima vsaka ladjica z rezinami natančne geometrijske dimenzije in odlično površinsko natančnost, kar zagotavlja enakomeren razmik med rezinami in stabilen pretok zraka.