Prau Wafer SiC lan Wadhah Kanggo Tungku Vertikal
Prau wafer silikon karbidaUtamane kanggo ndhukung lan ngangkut wafer ing proses termal suhu dhuwur saka wafer semikonduktor kayata difusi, oksidasi, lan anil. Kinerjane langsung mengaruhi kualitas produk wafer lan efisiensi produksi.
Desain struktural prau wafer silikon karbida:
Biasane nduweni struktur bolong utawa kaya sisir;
Ana pirang-pirang slot kanggo nyelehake lan misahake wafer;
Dirancang kanggo nimbang distribusi aliran gas, njamin pemanasan lan pendinginan sing seragam;
Cocok kanggo tungku vertikal lan tungku horisontal;
Dirancang kanggo macem-macem ukuran kayata wafer 3 inci, 4 inci, 6 inci, 8 inci, 12 inci.
Kapal wafer silikon karbida VET Energy digawe nggunakake teknologi sintering canggih lan dirancang khusus kanggo nyukupi syarat pembawa proses sing ketat saka manufaktur semikonduktor canggih. Kauntungan teknis sing unggul utamane katon ing aspek ing ngisor iki:
1. Kemurnian Paling Apik lan Kontaminasi Ultra-Rendah
Nggunakake bahan mentah kanthi kemurnian ultra-dhuwur, kita njamin produk kasebut nduweni kandungan ion logam sing sithik banget (kurang saka 1 ppm kanggo Na, K, Fe, lan Ca). Presipitasi minimal ing suhu dhuwur kanthi efektif nyegah kontaminasi wafer, njamin asil chip lan keandalan sing dhuwur, dadi pilihan sing ideal kanggo wong-wong sing ngupaya kesempurnaan proses.
2. Kinerja lan Stabilitas Termal sing Apik banget
Prau wafer SiC kita duwé konduktivitas termal sing dhuwur banget lan tahan kejut termal sing apik banget. Prau iki bisa tahan fluktuasi suhu sing cepet saka suhu ruangan nganti 1600℃ tanpa retak utawa deformasi, njamin pengulangan lan konsistensi proses, kanthi signifikan nyuda downtime sing ora direncanakake amarga masalah operator.
3. Ketahanan Korosi lan Kekuatan Mekanik sing Luar Biasa
Kekerasan sing dhuwur lan tahan aus sing kuwat, bebarengan karo resistensi sing luar biasa marang lingkungan asam lan alkali, ngluwihi kuarsa lan grafit. Kekuwatan mekanik sing luar biasa kanthi efektif nyegah generasi partikel sajrone penanganan otomatis sing kerep, kanthi signifikan ngluwihi umur layanan lan nyuda biaya operasi sakabèhé.
4. Desain Presisi lan Konsistensi sing Apik banget
Nggunakake teknologi pencetakan lan pangolahan sing canggih, kita njamin saben prau wafer nduweni dimensi geometris sing tepat lan akurasi permukaan sing apik banget, njamin jarak wafer sing seragam lan aliran udara sing stabil.
| 重结晶碳化硅物理特性 Sifat fisik Silikon Karbida sing Direkristalisasi | |
| 性质 / Properti | 典型数值 / Nilai Khas |
| 使用温度/ Suhu kerja (°C) | 1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan sing nyuda) |
| SiC含量/ Isi SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Konten Si gratis | < 0,1% |
| 体积密度/Kapadhetan massal | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Porositas sing katon | < 16% |
| 抗压强度/ Kekuwatan kompresi | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kekuwatan lentur adhem | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Kekuwatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Konduktivitas termal @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量Modulus elastis | 240 GPa |
| 抗热震性/ Tahan kejut termal | Apik banget |
VET Energy minangka produsen profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kelas atas kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan bahan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Kauntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian lan kualitas sing unggul ing industri;
• Rega kompetitif & wektu pangiriman cepet;
• Pirang-pirang kemitraan industri ing saindenging jagad;
Kita ngajak sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kapan wae!
