Лодка і трымальнік для вафельных пласцін SiC для вертыкальнай печы

Лодка і трымальнік для вафельных пласцін SiC для вертыкальнай печы

Лодка з карбіду крэмнію з пласцінпрызначаны ў першую чаргу для падтрымкі і транспарціроўкі пласцін у высокатэмпературных тэрмічных працэсах паўправадніковых пласцін, такіх як дыфузія, акісленне і адпал. Яго характарыстыкі непасрэдна ўплываюць на якасць вырабу і эфектыўнасць вытворчасці.

Структурныя канструкцыі лодкі з карбіду крэмнію:
Звычайна мае прарэзаную або грабянепадобную структуру;
Некалькі слотаў для размяшчэння і аддзялення пласцін;
Распрацавана з улікам размеркавання патоку газу, забяспечваючы раўнамерны нагрэў і астуджэнне;
Падыходзіць для вертыкальнай і гарызантальнай печы;
Распрацаваны для розных памераў, такіх як 3-цалевыя, 4-цалевыя, 6-цалевыя, 8-цалевыя, 12-цалевыя пласціны.

Ложачкі з карбіду крэмнію кампаніі VET Energy вырабляюцца з выкарыстаннем перадавой тэхналогіі спякання і спецыяльна распрацаваны для задавальнення строгіх патрабаванняў да тэхналагічных носьбітаў перадавой вытворчасці паўправаднікоў. Іх выдатныя тэхнічныя перавагі ў першую чаргу адлюстроўваюцца ў наступных аспектах:

1. Абсалютная чысціня і звышнізкі ўзровень забруджвання
Выкарыстоўваючы сыравіну звышвысокай чысціні, мы гарантуем надзвычай нізкае ўтрыманне іонаў металаў у прадукце (менш за 1 праміле для Na, K, Fe і Ca). Мінімальнае асаджэнне пры высокіх тэмпературах эфектыўна прадухіляе забруджванне пласцін, забяспечваючы высокі выхад і надзейнасць чыпа, што робіць іх ідэальным выбарам для тых, хто імкнецца да дасканаласці працэсу.
2. Выдатныя цеплавыя характарыстыкі і стабільнасць
Нашы лодкі з карбіду крэмнію валодаюць надзвычай высокай цеплаправоднасцю і выдатнай устойлівасцю да цеплавых удараў. Яны могуць вытрымліваць рэзкія ваганні тэмпературы ад пакаёвай да 1600℃ без расколін або дэфармацыі, што забяспечвае паўтаральнасць і стабільнасць працэсу, значна скарачаючы незапланаваныя прастоі з-за праблем з носьбітамі.
3. Надзвычайная каразійная ўстойлівасць і механічная трываласць
Высокая цвёрдасць і высокая зносаўстойлівасць, а таксама выключная ўстойлівасць да кіслотнага і шчолачнага асяроддзя, значна пераўзыходзяць кварц і графіт. Яго выключная механічная трываласць эфектыўна прадухіляе ўтварэнне часціц падчас частай аўтаматызаванай апрацоўкі, значна падаўжаючы тэрмін яго службы і зніжаючы агульныя эксплуатацыйныя выдаткі.
4. Дакладны дызайн і выдатная паслядоўнасць
Выкарыстоўваючы перадавыя тэхналогіі ліцця і апрацоўкі, мы гарантуем, што кожная лодка з пласцін мае дакладныя геаметрычныя памеры і выдатную дакладнасць паверхні, што забяспечвае раўнамерную адлегласць паміж пласцінамі і стабільны паветраны паток.