SiC-waferbåd og holder til vertikal ovn

SiC-waferbåd og holder til vertikal ovn

Siliciumcarbid waferbåder primært til at understøtte og transportere wafere i højtemperatur termiske processer af halvlederwafere såsom diffusion, oxidation og udglødning. Dens ydeevne påvirker direkte waferproduktets kvalitet og produktionseffektivitet.

De strukturelle designs af siliciumcarbid waferbåde:
Har typisk en slidset eller kamlignende struktur;
Flere slots til placering og adskillelse af wafere;
Designet til at tage hensyn til gasstrømsfordelingen, hvilket sikrer ensartet opvarmning og afkøling;
Velegnet til vertikal ovn og horisontal ovn;
Designet til forskellige størrelser, såsom 3 tommer, 4 tommer, 6 tommer, 8 tommer og 12 tommer wafers.

VET Energys siliciumcarbid-waferbåde er fremstillet ved hjælp af avanceret sintringsteknologi og er specifikt designet til at opfylde de strenge krav til procesbærere inden for avanceret halvlederproduktion. Deres overlegne tekniske fordele afspejles primært i følgende aspekter:

1. Ultimativ renhed og ultralav kontaminering
Ved at bruge råmaterialer med ultrahøj renhed sikrer vi, at produktet har et ekstremt lavt metalionindhold (mindre end 1 ppm for Na, K, Fe og Ca). Minimal udfældning ved høje temperaturer forhindrer effektivt waferkontaminering, hvilket sikrer højt chipudbytte og pålidelighed, hvilket gør dem til et ideelt valg for dem, der stræber efter procesperfektion.
2. Fremragende termisk ydeevne og stabilitet
Vores SiC-waferbåd har ekstremt høj termisk ledningsevne og fremragende termisk chokmodstand. De kan modstå hurtige temperaturudsving fra stuetemperatur til 1600 ℃ uden revner eller deformation, hvilket sikrer processens repeterbarhed og konsistens og reducerer uplanlagt nedetid på grund af problemer med bæreren betydeligt.
3. Ekstraordinær korrosionsbestandighed og mekanisk styrke
Høj hårdhed og stærk slidstyrke, sammen med exceptionel modstandsdygtighed over for sure og alkaliske miljøer, overgår langt kvarts og grafit. Dens exceptionelle mekaniske styrke forhindrer effektivt partikeldannelse under hyppig automatiseret håndtering, hvilket forlænger dens levetid betydeligt og reducerer de samlede driftsomkostninger.
4. Præcisionsdesign og fremragende konsistens
Ved at udnytte avancerede støbe- og forarbejdningsteknologier sikrer vi, at hver waferbåd har præcise geometriske dimensioner og fremragende overfladenøjagtighed, hvilket sikrer ensartet waferafstand og stabil luftstrøm.