SiC čamac i držač za oblatne za vertikalnu peć

SiC čamac i držač za oblatne za vertikalnu peć

Brod od silicijum-karbidnih pločicaprvenstveno je namijenjen za potporu i transport pločica u visokotemperaturnim termičkim procesima poluprovodničkih pločica kao što su difuzija, oksidacija i žarenje. Njegove performanse direktno utiču na kvalitet proizvoda od pločica i efikasnost proizvodnje.

Strukturni dizajni čamca od silicijum-karbidnih pločica:
Obično ima prorezan ili češljast oblik;
Višestruki utori za postavljanje i odvajanje pločica;
Dizajnirano uzimajući u obzir distribuciju protoka plina, osiguravajući ravnomjerno grijanje i hlađenje;
Pogodno za vertikalnu i horizontalnu peć;
Dizajnirano za različite veličine kao što su pločice od 3 inča, 4 inča, 6 inča, 8 inča, 12 inča.

VET Energy-jeve ladice od silicijum-karbidnih pločica izrađene su korištenjem napredne tehnologije sinterovanja i posebno su dizajnirane da zadovolje stroge zahtjeve nosioca procesa napredne proizvodnje poluprovodnika. Njihove superiorne tehničke prednosti se prvenstveno ogledaju u sljedećim aspektima:

1. Vrhunska čistoća i ultra niska kontaminacija
Korištenjem sirovina ultra visoke čistoće, osiguravamo da proizvod ima izuzetno nizak sadržaj metalnih iona (manje od 1 ppm za Na, K, Fe i Ca). Minimalno taloženje na visokim temperaturama efikasno sprječava kontaminaciju pločica, osiguravajući visok prinos čipa i pouzdanost, što ih čini idealnim izborom za one koji teže savršenstvu procesa.
2. Odlične termičke performanse i stabilnost
Naši SiC waferi posjeduju izuzetno visoku toplinsku provodljivost i odličnu otpornost na toplinske udare. Mogu izdržati brze temperaturne fluktuacije od sobne temperature do 1600℃ bez pucanja ili deformacija, osiguravajući ponovljivost i konzistentnost procesa, značajno smanjujući neplanirane zastoje zbog problema s nosačima.
3. Izvanredna otpornost na koroziju i mehanička čvrstoća
Visoka tvrdoća i jaka otpornost na habanje, zajedno s izuzetnom otpornošću na kisele i alkalne sredine, daleko nadmašuju kvarc i grafit. Njegova izuzetna mehanička čvrstoća efikasno sprječava stvaranje čestica tokom čestog automatizovanog rukovanja, značajno produžavajući njegov vijek trajanja i smanjujući ukupne operativne troškove.
4. Precizan dizajn i odlična konzistentnost
Koristeći napredne tehnologije oblikovanja i obrade, osiguravamo da svaki čamac za vafel posjeduje precizne geometrijske dimenzije i izvrsnu površinsku tačnost, osiguravajući ujednačen razmak između vafel i stabilan protok zraka.