Şaquli Soba üçün SiC Wafer Qayığı və Tutucusu
Silikon karbid vafli qayığıəsasən diffuziya, oksidləşmə və tavlama kimi yarımkeçirici lövhələrin yüksək temperaturlu istilik proseslərində lövhələri dəstəkləmək və daşımaq üçündür. Onun performansı lövhə məhsulunun keyfiyyətinə və istehsal səmərəliliyinə birbaşa təsir göstərir.
Silikon karbidli vafli qayığının struktur dizaynları:
Adətən yarıqlı və ya daraqvari quruluşa malikdir;
Vafliləri yerləşdirmək və ayırmaq üçün çoxsaylı yuvalar;
Qaz axınının paylanmasını nəzərə almaq, vahid isitmə və soyutma təmin etmək üçün hazırlanmışdır;
Şaquli soba və üfüqi soba üçün uyğundur;
3 düym, 4 düym, 6 düym, 8 düym, 12 düymlük vaflilər kimi müxtəlif ölçülər üçün hazırlanmışdır.
VET Energy şirkətinin silikon karbidli vafli qayıqları qabaqcıl sinterləmə texnologiyasından istifadə etməklə hazırlanır və qabaqcıl yarımkeçirici istehsalının sərt proses daşıyıcısı tələblərinə cavab vermək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Onların üstün texniki üstünlükləri əsasən aşağıdakı aspektlərdə əks olunur:
1. Son dərəcə təmizlik və ultra aşağı çirklənmə
Ultra yüksək təmizlik xammalından istifadə edərək, məhsulun olduqca aşağı metal ion tərkibinə (Na, K, Fe və Ca üçün 1 ppm-dən az) malik olmasını təmin edirik. Yüksək temperaturda minimal çöküntü lövhənin çirklənməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır, yüksək çip məhsuldarlığı və etibarlılığı təmin edir və bu da onları prosesin mükəmməlliyinə çalışanlar üçün ideal seçim edir.
2. Əla Termal Performans və Sabitlik
SiC lövhəli qayığımız olduqca yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik zərbəsinə davamlılığa malikdir. Onlar otaq temperaturundan 1600℃-ə qədər sürətli temperatur dalğalanmalarına çatlamadan və ya deformasiya olmadan tab gətirə bilir, prosesin təkrarlanmasını və ardıcıllığını təmin edir, daşıyıcı problemləri səbəbindən planlaşdırılmamış dayanma vaxtını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
3. Fövqəladə Korroziyaya Qarşı Müqavimət və Mexaniki Möhkəmlik
Yüksək sərtlik və güclü aşınma müqaviməti, turşu və qələvi mühitlərə qarşı müstəsna müqaviməti ilə yanaşı, kvars və qrafitdən xeyli üstündür. Onun müstəsna mexaniki gücü tez-tez avtomatlaşdırılmış işləmə zamanı hissəciklərin əmələ gəlməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır, xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır və ümumi istismar xərclərini azaldır.
4. Dəqiq Dizayn və Əla Ardıcıllıq
Qabaqcıl qəlibləmə və emal texnologiyalarından istifadə edərək, hər bir lövhə qayığının dəqiq həndəsi ölçülərə və əla səth dəqiqliyinə malik olmasını təmin edirik, lövhələr arasında vahid məsafə və sabit hava axını təmin edirik.
| 重结晶碳化硅物理特性 Yenidən kristallaşdırılmış silikon karbidin fiziki xüsusiyyətləri | |
| 性质 / Əmlak | 典型数值 / Tipik Dəyər |
| 使用温度/ İş temperaturu (°C) | 1600°C (oksigenlə), 1700°C (reduksiya mühiti) |
| SiC含量/ SiC tərkibi | > 99.96% |
| 自由Si含量/ Pulsuz Si məzmunu | <0.1% |
| 体积密度/Toplu sıxlıq | 2.60-2.70 q/sm33 |
| 气孔率/ Görünən məsaməlilik | < 16% |
| 抗压强度/ Sıxılma gücü | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Soyuq əyilmə gücü | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度İsti əyilmə gücü | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Termal genişlənmə @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/İstilik keçiriciliyi @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastik modul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termal şoka davamlılıq | Son dərəcə yaxşı |
VET Energy, qrafit, silikon karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların tədqiqat və inkişaf etdirilməsi, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi material emalı sahələrinə diqqət yetirən peşəkar bir istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Enerjisinin üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz fabriki və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə lider olan təmizlik səviyyələri və keyfiyyəti;
• Rəqabətli qiymət və sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünya üzrə çoxsaylı sənaye tərəfdaşlıqları;
İstənilən vaxt fabrikimizi və laboratoriyamızı ziyarət etməyə xoş gəlmisiniz!
