SiC Wafer Boat at Holder para sa Vertical Furnace

SiC Wafer Boat at Holder para sa Vertical Furnace

Bangka na wafer na silikon karbidaay pangunahing para sa pagsuporta at pagdadala ng mga wafer sa mga prosesong thermal na may mataas na temperatura ng mga semiconductor wafer tulad ng diffusion, oxidation, at annealing. Ang pagganap nito ay direktang nakakaapekto sa kalidad ng produktong wafer at kahusayan sa produksyon.

Ang mga disenyo ng istruktura ng silicon carbide wafer boat:
Karaniwan ay may butas-butas o parang suklay na istraktura;
Maraming puwang para sa paglalagay at paghihiwalay ng mga wafer;
Dinisenyo upang isaalang-alang ang pamamahagi ng daloy ng gas, na tinitiyak ang pantay na pag-init at paglamig;
Angkop para sa patayong pugon at pahalang na pugon;
Dinisenyo para sa iba't ibang laki tulad ng 3 pulgada, 4 pulgada, 6 pulgada, 8 pulgada, 12 pulgadang wafer.

Ang mga silicon carbide wafer boat ng VET Energy ay ginawa gamit ang advanced sintering technology at partikular na idinisenyo upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan sa process carrier ng advanced semiconductor manufacturing. Ang kanilang mga superior na teknikal na bentahe ay pangunahing makikita sa mga sumusunod na aspeto:

1. Pinakamataas na Kadalisayan at Napakababang Kontaminasyon
Gamit ang mga hilaw na materyales na may napakataas na kadalisayan, tinitiyak namin na ang produkto ay may napakababang nilalaman ng metal ion (mas mababa sa 1 ppm para sa Na, K, Fe, at Ca). Ang kaunting presipitasyon sa mataas na temperatura ay epektibong pumipigil sa kontaminasyon ng wafer, na tinitiyak ang mataas na ani at pagiging maaasahan ng chip, na ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa mga naghahangad ng perpektong proseso.
2. Napakahusay na Pagganap at Katatagan sa Thermal
Ang aming SiC wafer boat ay nagtataglay ng napakataas na thermal conductivity at mahusay na thermal shock resistance. Kaya nilang tiisin ang mabilis na pagbabago-bago ng temperatura mula sa temperatura ng silid hanggang 1600℃ nang walang pagbibitak o deformasyon, na tinitiyak ang pag-uulit at pagkakapare-pareho ng proseso, na makabuluhang binabawasan ang hindi planadong downtime dahil sa mga isyu sa carrier.
3. Pambihirang Paglaban sa Kaagnasan at Lakas ng Mekanikal
Ang mataas na katigasan at malakas na resistensya sa pagkasira, kasama ang pambihirang resistensya sa acidic at alkaline na kapaligiran, ay higit na nakahihigit sa quartz at graphite. Ang pambihirang mekanikal na lakas nito ay epektibong pumipigil sa pagbuo ng particle sa panahon ng madalas na automated handling, na makabuluhang nagpapahaba sa buhay ng serbisyo nito at binabawasan ang pangkalahatang gastos sa pagpapatakbo.
4. Disenyo ng Katumpakan at Napakahusay na Pagkakapare-pareho
Gamit ang mga makabagong teknolohiya sa paghubog at pagproseso, tinitiyak namin na ang bawat wafer boat ay nagtataglay ng tumpak na mga heometrikong sukat at mahusay na katumpakan sa ibabaw, na tinitiyak ang pare-parehong pagitan ng wafer at matatag na daloy ng hangin.