ലംബ ചൂളയ്ക്കുള്ള SiC വേഫർ ബോട്ടും ഹോൾഡറും

ലംബ ചൂളയ്ക്കുള്ള SiC വേഫർ ബോട്ടും ഹോൾഡറും

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ബോട്ട്ഡിഫ്യൂഷൻ, ഓക്‌സിഡേഷൻ, അനീലിംഗ് തുടങ്ങിയ അർദ്ധചാലക വേഫറുകളുടെ ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള താപ പ്രക്രിയകളിൽ വേഫറുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനും കൊണ്ടുപോകുന്നതിനുമാണ് പ്രാഥമികമായി. ഇതിന്റെ പ്രകടനം വേഫർ ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരത്തെയും ഉൽ‌പാദന കാര്യക്ഷമതയെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു.

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ബോട്ടിന്റെ ഘടനാപരമായ രൂപകൽപ്പനകൾ:
സാധാരണയായി ഒരു സ്ലോട്ട് അല്ലെങ്കിൽ ചീപ്പ് പോലുള്ള ഘടനയുണ്ട്;
വേഫറുകൾ സ്ഥാപിക്കുന്നതിനും വേർതിരിക്കുന്നതിനുമുള്ള ഒന്നിലധികം സ്ലോട്ടുകൾ;
വാതക പ്രവാഹ വിതരണം പരിഗണിച്ച് രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു, ഏകീകൃത ചൂടാക്കലും തണുപ്പും ഉറപ്പാക്കുന്നു;
ലംബ ചൂളയ്ക്കും തിരശ്ചീന ചൂളയ്ക്കും അനുയോജ്യം;
3 ഇഞ്ച്, 4 ഇഞ്ച്, 6 ഇഞ്ച്, 8 ഇഞ്ച്, 12 ഇഞ്ച് വേഫറുകൾ പോലുള്ള വ്യത്യസ്ത വലുപ്പങ്ങൾക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു.

VET എനർജിയുടെ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ബോട്ടുകൾ നൂതന സിന്ററിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ചാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, കൂടാതെ നൂതന സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന്റെ കർശനമായ പ്രോസസ് കാരിയർ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്നു. അവയുടെ മികച്ച സാങ്കേതിക ഗുണങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഇനിപ്പറയുന്ന വശങ്ങളിൽ പ്രതിഫലിക്കുന്നു:

1. ആത്യന്തിക ശുദ്ധിയും വളരെ കുറഞ്ഞ മലിനീകരണവും
അൾട്രാ-ഹൈ-പ്യുരിറ്റി അസംസ്കൃത വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിച്ച്, ഉൽപ്പന്നത്തിൽ വളരെ കുറഞ്ഞ ലോഹ അയോൺ ഉള്ളടക്കം ഉണ്ടെന്ന് ഞങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു (Na, K, Fe, Ca എന്നിവയ്ക്ക് 1 ppm-ൽ താഴെ). ഉയർന്ന താപനിലയിലെ കുറഞ്ഞ മഴ വേഫർ മലിനീകരണത്തെ ഫലപ്രദമായി തടയുന്നു, ഉയർന്ന ചിപ്പ് വിളവും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഇത് പ്രക്രിയ പൂർണതയ്ക്കായി പരിശ്രമിക്കുന്നവർക്ക് അനുയോജ്യമായ ഒരു തിരഞ്ഞെടുപ്പാക്കി മാറ്റുന്നു.
2. മികച്ച താപ പ്രകടനവും സ്ഥിരതയും
ഞങ്ങളുടെ SiC വേഫർ ബോട്ടിന് വളരെ ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും മികച്ച താപ ആഘാത പ്രതിരോധവുമുണ്ട്. മുറിയിലെ താപനില മുതൽ 1600℃ വരെയുള്ള ദ്രുത താപനില വ്യതിയാനങ്ങളെ പൊട്ടലോ രൂപഭേദമോ കൂടാതെ അവയ്ക്ക് നേരിടാൻ കഴിയും, പ്രക്രിയയുടെ ആവർത്തനക്ഷമതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു, കാരിയർ പ്രശ്നങ്ങൾ കാരണം ആസൂത്രണം ചെയ്യാത്ത പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു.
3.അസാധാരണമായ നാശന പ്രതിരോധവും മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും
ഉയർന്ന കാഠിന്യവും ശക്തമായ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും, അസിഡിക്, ആൽക്കലൈൻ പരിതസ്ഥിതികളോടുള്ള അസാധാരണമായ പ്രതിരോധവും, ക്വാർട്സ്, ഗ്രാഫൈറ്റ് എന്നിവയേക്കാൾ വളരെ മികച്ചതാണ്. ഇടയ്ക്കിടെയുള്ള ഓട്ടോമേറ്റഡ് കൈകാര്യം ചെയ്യലിനിടെ കണികകൾ ഉണ്ടാകുന്നത് ഇതിന്റെ അസാധാരണമായ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി ഫലപ്രദമായി തടയുന്നു, ഇത് അതിന്റെ സേവന ആയുസ്സ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രവർത്തന ചെലവ് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
4. കൃത്യതയുള്ള രൂപകൽപ്പനയും മികച്ച സ്ഥിരതയും
നൂതന മോൾഡിംഗ്, പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ച്, ഓരോ വേഫർ ബോട്ടിനും കൃത്യമായ ജ്യാമിതീയ അളവുകളും മികച്ച ഉപരിതല കൃത്യതയും ഉണ്ടെന്ന് ഞങ്ങൾ ഉറപ്പാക്കുന്നു, ഏകീകൃത വേഫർ അകലവും സ്ഥിരമായ വായുപ്രവാഹവും ഉറപ്പാക്കുന്നു.