ಲಂಬ ಕುಲುಮೆಗಾಗಿ SiC ವೇಫರ್ ದೋಣಿ ಮತ್ತು ಹೋಲ್ಡರ್
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್ ದೋಣಿಪ್ರಸರಣ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಅನೀಲಿಂಗ್ನಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಉಷ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಮತ್ತು ಸಾಗಿಸಲು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಉದ್ದೇಶಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ವೇಫರ್ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್ ದೋಣಿಯ ರಚನಾತ್ಮಕ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು:
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಲಾಟೆಡ್ ಅಥವಾ ಬಾಚಣಿಗೆಯಂತಹ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ;
ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಇರಿಸಲು ಮತ್ತು ಬೇರ್ಪಡಿಸಲು ಬಹು ಸ್ಲಾಟ್ಗಳು;
ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಏಕರೂಪದ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ;
ಲಂಬ ಕುಲುಮೆ ಮತ್ತು ಅಡ್ಡ ಕುಲುಮೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ;
3 ಇಂಚು, 4 ಇಂಚು, 6 ಇಂಚು, 8 ಇಂಚು, 12 ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವೇಫರ್ ದೋಣಿಗಳನ್ನು ಸುಧಾರಿತ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಕಠಿಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ವಾಹಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಅವುಗಳ ಉನ್ನತ ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಅಂಶಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಫಲಿಸುತ್ತವೆ:
1. ಅಂತಿಮ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಲಿನ್ಯ
ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಉತ್ಪನ್ನವು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಲೋಹದ ಅಯಾನು ಅಂಶವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಎಂದು ನಾವು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ (Na, K, Fe, ಮತ್ತು Ca ಗೆ 1 ppm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ). ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕನಿಷ್ಠ ಮಳೆಯು ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಿಪ್ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಪೂರ್ಣತೆಗಾಗಿ ಶ್ರಮಿಸುವವರಿಗೆ ಅವುಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ತ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
2. ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆ
ನಮ್ಮ SiC ವೇಫರ್ ಬೋಟ್ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಅವು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಿಂದ 1600℃ ವರೆಗಿನ ತ್ವರಿತ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ಬಿರುಕುಗಳು ಅಥವಾ ವಿರೂಪಗಳಿಲ್ಲದೆ ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲವು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪುನರಾವರ್ತನೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತವೆ, ವಾಹಕ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ ಯೋಜಿತವಲ್ಲದ ಅಲಭ್ಯತೆಯನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
3.ಅಸಾಧಾರಣ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ
ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಆಮ್ಲೀಯ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರೀಯ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಅಸಾಧಾರಣ ಪ್ರತಿರೋಧದೊಂದಿಗೆ, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ. ಇದರ ಅಸಾಧಾರಣ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿಯು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕಣಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಅದರ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
4. ನಿಖರವಾದ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸ್ಥಿರತೆ
ಸುಧಾರಿತ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಪ್ರತಿ ವೇಫರ್ ದೋಣಿ ನಿಖರವಾದ ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಎಂದು ನಾವು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ, ಏಕರೂಪದ ವೇಫರ್ ಅಂತರ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತೇವೆ.
| 重结晶碳化硅物理特性 ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
| 性质 / ಆಸ್ತಿ | 典型数值 / ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| 使用温度/ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600°C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700°C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು) |
| ಸಿ.ಐ.ಸಿ.含量/ SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
| 自由Si含量/ ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
| 体积密度/ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ೨.೬೦-೨.೭೦ ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ.ಮೀ.3 |
| 气孔率/ ಸ್ಪಷ್ಟ ರಂಧ್ರಗಳು | < 16% |
| 抗压强度/ ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600ಎಂಪಿಎ |
| 常温抗弯强度/ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°ಸೆ |
| 导热系数/ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23ಪ/ಮೀ•ಕಿ |
| 杨氏模量/ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 ಜಿಪಿಎ |
| 抗热震性/ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ | ತುಂಬಾ ಚೆನ್ನಾಗಿದೆ |
VET ಎನರ್ಜಿ ಒಂದು ವೃತ್ತಿಪರ ತಯಾರಕರಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ SiC ಲೇಪನ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ ಮುಂತಾದ ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಹ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ, ನಿಮಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
VET ಶಕ್ತಿಯ ಅನುಕೂಲಗಳು ಸೇರಿವೆ:
• ಸ್ವಂತ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ವೃತ್ತಿಪರ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ;
• ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ;
• ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ಬೆಲೆ & ವೇಗದ ವಿತರಣಾ ಸಮಯ;
• ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಬಹು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಗಳು;
ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯವನ್ನು ಯಾವುದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೇಟಿ ನೀಡಲು ನಾವು ನಿಮ್ಮನ್ನು ಸ್ವಾಗತಿಸುತ್ತೇವೆ!
