Khay và giá đỡ wafer SiC cho lò nung đứng
Thuyền đựng tấm wafer silicon carbideChức năng chính của nó là hỗ trợ và vận chuyển các tấm bán dẫn trong các quy trình xử lý nhiệt độ cao như khuếch tán, oxy hóa và ủ. Hiệu suất của nó ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm bán dẫn và hiệu quả sản xuất.
Thiết kế cấu trúc của thuyền đựng tấm wafer silicon carbide:
Thường có cấu trúc dạng khe hoặc dạng lược;
Nhiều khe để đặt và tách các tấm bán dẫn;
Được thiết kế để tính đến sự phân bố dòng khí, đảm bảo quá trình sưởi ấm và làm mát đồng đều;
Thích hợp cho lò nung đứng và lò nung nằm ngang;
Được thiết kế cho nhiều kích thước khác nhau như bánh wafer 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch, 12 inch.
Các tấm đế chứa wafer silicon carbide của VET Energy được chế tạo bằng công nghệ thiêu kết tiên tiến và được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu khắt khe về vật liệu mang trong quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Những ưu điểm kỹ thuật vượt trội của chúng chủ yếu được thể hiện ở các khía cạnh sau:
1. Độ tinh khiết tối ưu và hàm lượng tạp chất cực thấp
Sử dụng nguyên liệu thô có độ tinh khiết cực cao, chúng tôi đảm bảo sản phẩm có hàm lượng ion kim loại cực thấp (dưới 1 ppm đối với Na, K, Fe và Ca). Sự kết tủa tối thiểu ở nhiệt độ cao giúp ngăn ngừa hiệu quả sự nhiễm bẩn trên tấm bán dẫn, đảm bảo năng suất và độ tin cậy cao của chip, biến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho những ai hướng đến sự hoàn hảo trong quy trình.
2. Hiệu năng và độ ổn định tản nhiệt tuyệt vời
Giá đỡ wafer SiC của chúng tôi có độ dẫn nhiệt cực cao và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời. Chúng có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng từ nhiệt độ phòng đến 1600℃ mà không bị nứt hoặc biến dạng, đảm bảo tính lặp lại và nhất quán của quy trình, giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch do các vấn đề về giá đỡ.
3. Khả năng chống ăn mòn và độ bền cơ học vượt trội
Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn mạnh mẽ, cùng với khả năng chống chịu đặc biệt với môi trường axit và kiềm, vượt xa thạch anh và than chì. Độ bền cơ học vượt trội của nó giúp ngăn ngừa hiệu quả sự hình thành hạt trong quá trình xử lý tự động thường xuyên, kéo dài đáng kể tuổi thọ và giảm chi phí vận hành tổng thể.
4. Thiết kế chính xác và độ ổn định tuyệt vời
Bằng cách tận dụng các công nghệ đúc và xử lý tiên tiến, chúng tôi đảm bảo mỗi khay đựng wafer đều có kích thước hình học chính xác và độ chính xác bề mặt tuyệt vời, đảm bảo khoảng cách giữa các wafer đồng đều và luồng khí ổn định.
| 重结晶碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của cacbua silic tái kết tinh | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 Giá trị điển hình |
| 使用温度/ Nhiệt độ hoạt động (°C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| SiC含量Hàm lượng SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量Hàm lượng Si tự do | < 0,1% |
| 体积密度/Mật độ khối | 2,60-2,70 g/cm³3 |
| 气孔率Độ xốp biểu kiến | < 16% |
| 抗压强度/ Độ bền nén | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Sự giãn nở nhiệt ở 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Độ dẫn nhiệt ở 1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| 抗热震性/ Khả năng chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
