SiC-waferbåt og holder for vertikal ovn
Silisiumkarbid waferbåtbrukes primært til å støtte og transportere wafere i høytemperatur termiske prosesser av halvlederwafere, som diffusjon, oksidasjon og gløding. Ytelsen påvirker direkte waferproduktkvaliteten og produksjonseffektiviteten.
Strukturelle design av silisiumkarbid-waferbåt:
Har vanligvis en slisset eller kamlignende struktur;
Flere spor for plassering og separering av wafere;
Utviklet for å ta hensyn til gassfordeling, og sikre jevn oppvarming og kjøling;
Egnet for vertikal ovn og horisontal ovn;
Designet for forskjellige størrelser som 3 tommer, 4 tommer, 6 tommer, 8 tommer og 12 tommer wafere.
VET Energys silisiumkarbid-waferbåter er laget med avansert sintringsteknologi og er spesielt utviklet for å møte de strenge kravene til prosessbærere innen avansert halvlederproduksjon. Deres overlegne tekniske fordeler gjenspeiles først og fremst i følgende aspekter:
1. Ultimat renhet og ultralav forurensning
Ved å bruke råvarer med ultrahøy renhet sørger vi for at produktet har et ekstremt lavt metallioninnhold (mindre enn 1 ppm for Na, K, Fe og Ca). Minimal utfelling ved høye temperaturer forhindrer effektivt waferforurensning, noe som sikrer høyt chiputbytte og pålitelighet, noe som gjør dem til et ideelt valg for de som streber etter prosessperfeksjon.
2. Utmerket termisk ytelse og stabilitet
Våre SiC-waferbåter har ekstremt høy varmeledningsevne og utmerket termisk sjokkmotstand. De tåler raske temperatursvingninger fra romtemperatur til 1600 ℃ uten å sprekke eller deformere, noe som sikrer prosessrepeterbarhet og konsistens, og reduserer uplanlagt nedetid betydelig på grunn av problemer med bæreren.
3. Ekstraordinær korrosjonsmotstand og mekanisk styrke
Høy hardhet og sterk slitestyrke, sammen med eksepsjonell motstand mot sure og alkaliske miljøer, overgår langt kvarts og grafitt. Den eksepsjonelle mekaniske styrken forhindrer effektivt partikkeldannelse under hyppig automatisert håndtering, noe som forlenger levetiden betydelig og reduserer de totale driftskostnadene.
4. Presisjonsdesign og utmerket konsistens
Ved å utnytte avanserte støpe- og prosesseringsteknologier sørger vi for at hver waferbåt har presise geometriske dimensjoner og utmerket overflatenøyaktighet, noe som sikrer jevn waferavstand og stabil luftstrøm.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 使用温度/ Arbeidstemperatur (°C) | 1600 °C (med oksygen), 1700 °C (reduserende miljø) |
| SiC含量/ SiC-innhold | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
| 体积密度/Bulktetthet | 2,60–2,70 g/cm²3 |
| 气孔率/ Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
| 抗压强度/ Kompresjonsstyrke | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kald bøyningsstyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Varm bøyningsstyrke | 90–100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Varmeledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastisitetsmodul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk sjokkmotstand | Ekstremt bra |
VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
VET Energys fordeler inkluderer:
• Egen fabrikk og profesjonelt laboratorium;
• Bransjeledende renhetsnivåer og kvalitet;
• Konkurransedyktig pris og rask leveringstid;
• Flere bransjepartnerskap over hele verden;
Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!
