SiC вафлена лодка и държач за вертикална пещ

SiC вафлена лодка и държач за вертикална пещ

Лодка от силициево-карбидни пластиние предназначен предимно за поддържане и транспортиране на пластини при високотемпературни термични процеси на полупроводникови пластини, като дифузия, окисление и отгряване. Неговите характеристики пряко влияят върху качеството на продукта и ефективността на производството.

Структурни конструкции на лодка от силициево-карбидни пластини:
Обикновено има шлицова или гребеновидна структура;
Множество слотове за поставяне и разделяне на пластини;
Проектиран да отчита разпределението на газовия поток, осигурявайки равномерно нагряване и охлаждане;
Подходящ за вертикална пещ и хоризонтална пещ;
Проектирани за различни размери, като например 3-инчови, 4-инчови, 6-инчови, 8-инчови, 12-инчови пластини.

Силициево-карбидните лодки на VET Energy са изработени с помощта на усъвършенствана технология за синтероване и са специално проектирани да отговарят на строгите изисквания за технологични носители на модерното производство на полупроводници. Техните превъзходни технически предимства се отразяват главно в следните аспекти:

1. Изключителна чистота и ултраниско замърсяване
Използвайки суровини с ултрависока чистота, ние гарантираме, че продуктът има изключително ниско съдържание на метални йони (по-малко от 1 ppm за Na, K, Fe и Ca). Минималното утаяване при високи температури ефективно предотвратява замърсяването на пластините, осигурявайки висок добив и надеждност на чиповете, което ги прави идеален избор за тези, които се стремят към съвършенство на процеса.
2. Отлични термични характеристики и стабилност
Нашите SiC вафлени лодки притежават изключително висока топлопроводимост и отлична устойчивост на термичен удар. Те могат да издържат на бързи температурни колебания от стайна температура до 1600℃ без напукване или деформация, осигурявайки повторяемост и постоянство на процеса и значително намалявайки непланираните престои поради проблеми с носача.
3. Изключителна устойчивост на корозия и механична якост
Високата твърдост и силната износоустойчивост, заедно с изключителната устойчивост на киселинни и алкални среди, далеч превъзхождат кварца и графита. Изключителната му механична якост ефективно предотвратява образуването на частици по време на честа автоматизирана обработка, което значително удължава експлоатационния му живот и намалява общите експлоатационни разходи.
4. Прецизен дизайн и отлична консистенция
Използвайки усъвършенствани технологии за формоване и обработка, ние гарантираме, че всяка вафлена лодка притежава прецизни геометрични размери и отлична точност на повърхността, осигурявайки равномерно разстояние между вафлите и стабилен въздушен поток.