قایق و نگهدارنده ویفر SiC برای کوره عمودی
قایق ویفر کاربید سیلیکوندر درجه اول برای پشتیبانی و حمل ویفرها در فرآیندهای حرارتی دمای بالای ویفرهای نیمه هادی مانند انتشار، اکسیداسیون و آنیل کردن است. عملکرد آن مستقیماً بر کیفیت محصول ویفر و راندمان تولید تأثیر میگذارد.
طرح های ساختاری قایق ویفر کاربید سیلیکون:
معمولاً ساختاری شکافدار یا شانهمانند دارد؛
چندین شیار برای قرار دادن و جدا کردن ویفرها؛
طراحی شده برای در نظر گرفتن توزیع جریان گاز، تضمین گرمایش و سرمایش یکنواخت؛
مناسب برای کوره عمودی و کوره افقی؛
برای اندازههای مختلف مانند ویفرهای 3 اینچی، 4 اینچی، 6 اینچی، 8 اینچی، 12 اینچی طراحی شده است.
قایقهای ویفر کاربید سیلیکون VET Energy با استفاده از فناوری پیشرفته پخت ساخته میشوند و به طور خاص برای برآورده کردن الزامات سختگیرانه حامل فرآیند تولید نیمههادی پیشرفته طراحی شدهاند. مزایای فنی برتر آنها در درجه اول در جنبههای زیر منعکس میشود:
۱. نهایت خلوص و آلودگی بسیار کم
با استفاده از مواد اولیه با خلوص فوق العاده بالا، ما تضمین میکنیم که محصول دارای محتوای یون فلزی بسیار کمی (کمتر از 1 ppm برای Na، K، Fe و Ca) باشد. حداقل رسوب در دماهای بالا به طور موثری از آلودگی ویفر جلوگیری میکند و بازده و قابلیت اطمینان بالای تراشه را تضمین میکند و آنها را به انتخابی ایدهآل برای کسانی که به دنبال کمال فرآیند هستند، تبدیل میکند.
2. عملکرد حرارتی و پایداری عالی
قایق ویفر SiC ما دارای رسانایی حرارتی بسیار بالا و مقاومت عالی در برابر شوک حرارتی است. آنها میتوانند نوسانات سریع دما از دمای اتاق تا 1600 درجه سانتیگراد را بدون ترک خوردگی یا تغییر شکل تحمل کنند، که تکرارپذیری و ثبات فرآیند را تضمین میکند و به طور قابل توجهی زمان از کارافتادگی برنامهریزی نشده ناشی از مشکلات حامل را کاهش میدهد.
۳. مقاومت در برابر خوردگی و استحکام مکانیکی فوقالعاده
سختی بالا و مقاومت سایشی قوی، همراه با مقاومت استثنایی در برابر محیطهای اسیدی و قلیایی، به مراتب از کوارتز و گرافیت پیشی میگیرد. مقاومت مکانیکی استثنایی آن به طور موثری از تولید ذرات در حین جابجایی مکرر خودکار جلوگیری میکند و به طور قابل توجهی عمر مفید آن را افزایش داده و هزینههای کلی عملیاتی را کاهش میدهد.
۴. طراحی دقیق و ثبات عالی
با بهرهگیری از فناوریهای پیشرفته قالبگیری و پردازش، ما تضمین میکنیم که هر قایق ویفر دارای ابعاد هندسی دقیق و دقت سطح عالی است و فاصله یکنواخت ویفر و جریان هوای پایدار را تضمین میکند.
| 重结晶碳化硅物理特性 خواص فیزیکی کاربید سیلیکون تبلور مجدد یافته | |
| 性质 / املاک | 典型数值 / مقدار معمول |
| 使用温度/ دمای کار (°C) | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد (با اکسیژن)، ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد (محیط احیاکننده) |
| سی سی含量/ محتوای SiC | > ۹۹.۹۶٪ |
| 自由Si含量/ محتوای رایگان Si | <0.1٪ |
| 体积密度/چگالی ظاهری | ۲.۶۰-۲.۷۰ گرم بر سانتیمتر مکعب3 |
| 气孔率/ تخلخل ظاهری | کمتر از ۱۶٪ |
| 抗压强度/ مقاومت فشاری | > 600مگاپاسکال |
| 常温抗弯强度/استحکام خمشی سرد | ۸۰-۹۰ مگاپاسکال (۲۰ درجه سانتیگراد) |
| 高温抗弯强度استحکام خمشی گرم | ۹۰-۱۰۰ مگاپاسکال (۱۴۰۰ درجه سانتیگراد) |
| 热膨胀系数/ انبساط حرارتی @ 1500°C | ۴.۷۰ ۱۰-6/°C |
| 导热系数/رسانایی حرارتی در دمای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد | ۲۳وات/متر • کلوین |
| 杨氏模量/ مدول الاستیک | ۲۴۰ گیگا پاسکال |
| 抗热震性/ مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوقالعاده خوب |
شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفهای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
مزایای انرژی VET شامل موارد زیر است:
• کارخانه و آزمایشگاه تخصصی اختصاصی؛
• سطوح خلوص و کیفیت پیشرو در صنعت؛
• قیمت رقابتی و زمان تحویل سریع؛
• مشارکتهای صنعتی متعدد در سراسر جهان؛
ما از شما استقبال میکنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!
