Qeyika Waferê ya SiC û Girêder ji bo Firna Vertikal

Qeyika Waferê ya SiC û Girêder ji bo Firna Vertikal

Qeyika waferê ya silîkon karbîdêbi giranî ji bo piştgirîkirin û veguhestina waferan di pêvajoyên germî yên germahiya bilind ên waferên nîvconductor de wek belavbûn, oksîdasyon û germkirinê ye. Performansa wê rasterast bandorê li ser qalîteya berhema wafer û karîgeriya hilberînê dike.

Sêwirana avahîsaziyê ya qeyika waflê ya silicon carbide:
Bi gelemperî xwedî avahiyek qulkirî an jî mîna şaneyekê ye;
Çendîn qul ji bo danîn û veqetandina waferan;
Hatîye sêwirandin ku belavkirina herikîna gazê li ber çavan bigire, germkirin û sarkirina yekreng misoger bike;
Ji bo firna vertîkal û firna horizontal minasib e;
Ji bo mezinahîyên cûda yên wekî waflên 3inch, 4inch, 6inch, 8inch, û 12inch hatiye çêkirin.

Qeyikên wafer ên ji silîkon karbîdê yên VET Energy bi karanîna teknolojiya sinterkirina pêşketî têne çêkirin û bi taybetî ji bo bicîhanîna hewcedariyên hilgirê pêvajoyê yên hişk ên hilberîna nîvconductorên pêşketî hatine sêwirandin. Avantajên wan ên teknîkî yên bilind bi giranî di aliyên jêrîn de têne xuyang kirin:

1. Paqijiya Herî Bilind û Gemarbûna Ultra-Kêm
Bi karanîna madeyên xav ên paqijiya pir bilind, em piştrast dikin ku berhem xwedî naveroka îyonên metalî ya pir kêm e (kêmtir ji 1 ppm ji bo Na, K, Fe, û Ca). Barîna kêm di germahiyên bilind de bi bandor pêşî li qirêjbûna waferê digire, û berhema çîpê ya bilind û pêbaweriyê misoger dike, û wan dike bijarteyek îdeal ji bo kesên ku li pey bêkêmasîya pêvajoyê ne.
2. Performansa Germahî û Aramiya Hêja
Qeyikên me yên waflê yên SiC xwedî îhtîmaleke pir bilind a germahiyê û berxwedana şoka germî ya hêja ne. Ew dikarin li hember guherînên germahiyê yên bilez ji germahiya odeyê heta 1600℃ bêyî şikestin an deformasyonê li ber xwe bidin, ku dubarekirina pêvajoyê û domdariyê misoger dike, û dema bêhnvedanê ya neplankirî ji ber pirsgirêkên hilgir bi girîngî kêm dike.
3. Berxwedana Korozyonê ya Awarte û Hêza Mekanîkî
Hişkbûna bilind û berxwedana bihêz a li hember aşînê, ligel berxwedana bêhempa ya li hember jîngehên asîdî û alkalîn, ji quartz û grafîtê pir çêtir e. Hêza wê ya mekanîkî ya bêhempa bi bandor pêşî li çêbûna perçeyan di dema destwerdana otomatîkî ya pir caran de digire, temenê karûbarê wê bi girîngî dirêj dike û lêçûnên xebitandinê yên giştî kêm dike.
4. Sêwirana Rastîn û Lihevhatinek Hêja
Bi karanîna teknolojiyên pêşketî yên qalibkirin û hilberandinê, em piştrast dikin ku her qeyika waflê xwedî pîvanên geometrîkî yên rast û rastbûna rûyê hêja ye, ev jî mesafeya waflê ya yekreng û herikîna hewayê ya stabîl misoger dike.