Vaixell i suport per a oblies de SiC per a forn vertical

Vaixell i suport per a oblies de SiC per a forn vertical

Vaixell de carbur de silici per a oblíciess'utilitza principalment per suportar i transportar les oblies en processos tèrmics d'alta temperatura d'oblies semiconductores, com ara difusió, oxidació i recuit. El seu rendiment afecta directament la qualitat del producte d'oblies i l'eficiència de la producció.

Els dissenys estructurals de la barca de carbur de silici per a oblies:
Normalment té una estructura ranurada o semblant a una pinta;
Múltiples ranures per col·locar i separar oblies;
Dissenyat per tenir en compte la distribució del flux de gas, garantint una calefacció i refrigeració uniformes;
Apte per a forn vertical i forn horitzontal;
Dissenyat per a diferents mides com ara oblies de 3 polzades, 4 polzades, 6 polzades, 8 polzades i 12 polzades.

Les plaques de carbur de silici de VET Energy es fabriquen mitjançant tecnologia de sinterització avançada i estan dissenyades específicament per complir els estrictes requisits de portadors de processos de la fabricació de semiconductors avançats. Els seus avantatges tècnics superiors es reflecteixen principalment en els aspectes següents:

1. Puresa màxima i contaminació ultrabaixa
Utilitzant matèries primeres d'ultraalta puresa, garantim que el producte tingui un contingut d'ions metàl·lics extremadament baix (menys d'1 ppm per a Na, K, Fe i Ca). La precipitació mínima a altes temperatures prevé eficaçment la contaminació de les oblies, garantint un alt rendiment i fiabilitat del xip, convertint-les en una opció ideal per a aquells que busquen la perfecció del procés.
2. Excel·lent rendiment tèrmic i estabilitat
Les nostres plaques de SiC tenen una conductivitat tèrmica extremadament alta i una excel·lent resistència als xocs tèrmics. Poden suportar fluctuacions ràpides de temperatura des de la temperatura ambient fins als 1600 ℃ sense esquerdar-se ni deformar-se, cosa que garanteix la repetibilitat i la consistència del procés i redueix significativament el temps d'inactivitat no planificat a causa de problemes amb el portador.
3. Resistència a la corrosió i resistència mecànica extraordinàries
L'alta duresa i la forta resistència al desgast, juntament amb una resistència excepcional a ambients àcids i alcalins, superen amb escreix el quars i el grafit. La seva excepcional resistència mecànica impedeix eficaçment la generació de partícules durant la manipulació automatitzada freqüent, allargant significativament la seva vida útil i reduint els costos operatius generals.
4. Disseny de precisió i excel·lent consistència
Aprofitant les tecnologies avançades de modelat i processament, garantim que cada unitat de galeta tingui unes dimensions geomètriques precises i una excel·lent precisió superficial, garantint un espaiament uniforme de les galetes i un flux d'aire estable.