SiC skífubátur og handhafi fyrir lóðréttan ofn
Kísilkarbíðskífubáturer fyrst og fremst ætlað til að styðja og flytja skífur í háhitastigsferlum hálfleiðaraskífa eins og dreifingu, oxun og glæðingu. Afköst þess hafa bein áhrif á gæði skífuafurða og framleiðsluhagkvæmni.
Uppbyggingarhönnun kísillkarbíðsskífubáts:
Hefur venjulega rifaða eða greiðulaga uppbyggingu;
Margar raufar til að setja og aðskilja skífur;
Hannað til að taka tillit til dreifingar gasflæðis, sem tryggir jafna upphitun og kælingu;
Hentar fyrir lóðréttan ofn og láréttan ofn;
Hannað fyrir mismunandi stærðir eins og 3 tommu, 4 tommu, 6 tommu, 8 tommu og 12 tommu skífur.
Kísilkarbíðskífubátar VET Energy eru smíðaðir með háþróaðri sintunartækni og eru sérstaklega hannaðir til að uppfylla strangar kröfur um framleiðsluferla í háþróaðri hálfleiðaraframleiðslu. Yfirburðir tæknilegra kosta þeirra endurspeglast fyrst og fremst í eftirfarandi þáttum:
1. Fullkominn hreinleiki og afar lítil mengun
Með því að nota hráefni með afar háum hreinleika tryggjum við að varan hafi afar lágt málmjónainnihald (minna en 1 ppm fyrir Na, K, Fe og Ca). Lágmarksúrkoma við hátt hitastig kemur í veg fyrir mengun á skífum, sem tryggir mikla flísafköst og áreiðanleika, sem gerir þær að kjörnum valkosti fyrir þá sem stefna að fullkomnun í ferlinu.
2. Framúrskarandi hitauppstreymi og stöðugleiki
SiC-skífubáturinn okkar býr yfir afar mikilli varmaleiðni og framúrskarandi hitaáfallsþoli. Hann þolir hraðar hitasveiflur frá stofuhita upp í 1600°C án þess að sprunga eða afmyndast, sem tryggir endurtekningarhæfni og samræmi í ferlinu og dregur verulega úr ófyrirséðum niðurtíma vegna vandamála með flutningsaðila.
3. Óvenjuleg tæringarþol og vélrænn styrkur
Mikil hörku og slitþol, ásamt einstakri viðnámi gegn súru og basísku umhverfi, er mun betra en kvars og grafít. Framúrskarandi vélrænn styrkur þess kemur í veg fyrir myndun agna við tíðar sjálfvirkar meðhöndlunir, sem lengir endingartíma þess verulega og dregur úr heildarrekstrarkostnaði.
4. Nákvæm hönnun og framúrskarandi samræmi
Með því að nýta háþróaða mótunar- og vinnslutækni tryggjum við að hver skífubátur hafi nákvæmar rúmfræðilegar víddir og framúrskarandi yfirborðsnákvæmni, sem tryggir jafna bil á milli skífna og stöðugt loftflæði.
| 重结晶碳化硅物理特性 Eðliseiginleikar endurkristölluðs kísilkarbíðs | |
| 性质 / Eign | 典型数值 / Dæmigert gildi |
| 使用温度/ Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (afoxandi umhverfi) |
| SiC含量/ SiC innihald | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Ókeypis Si efni | < 0,1% |
| 体积密度/Þéttleiki rúmmáls | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Sýnileg gegndræpi | < 16% |
| 抗压强度/ Þjöppunarstyrkur | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kalt beygjuþol | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Beygjustyrkur í heitu formi | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Varmaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Varmaleiðni @1200°C | 23 áraW/m•K |
| 杨氏模量/ Teygjanleiki | 240 GPa |
| 抗热震性/ Varmaáfallsþol | Mjög gott |
VET Energy er faglegur framleiðandi sem einbeitir sér að rannsóknum og þróun og framleiðslu á háþróuðum efnum eins og grafíti, kísilkarbíði, kvarsi, sem og efnismeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, gljáandi kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv. Vörurnar eru mikið notaðar í ljósorkuverum, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og getur veitt þér faglegri efnislausnir.
Kostir VET Energy eru meðal annars:
• Eigin verksmiðja og fagleg rannsóknarstofa;
• Hreinleikastig og gæði í fremstu röð í greininni;
• Samkeppnishæft verð og hraður afhendingartími;
• Fjölbreytt samstarf í greininni um allan heim;
Við bjóðum þér velkomin að heimsækja verksmiðju okkar og rannsóknarstofu hvenær sem er!
